Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9148200 zu verkaufen

TEL TE 8500 (S) ATC ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für die Herstellung von mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) und anderen kleinen, empfindlichen Komponenten. Es ist der Industriestandard in Plasmaätzkammern und bekannt für seine Präzision und seinen Durchsatz. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC ist ein Mehrkammersystem mit einer Prozesskammer, die bis zu vier Teilkammern enthält. Es enthält eine Reihe von erweiterten Funktionen, die es ermöglichen, eine enge Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit zu erreichen, während Komponentenschäden minimiert werden. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC beinhaltet eine Gas-Verteilereinheit mit einem vakuumdichten Gaskasten, der die Gasstabilität durch Rückfüllen und Mischen von Gasen innerhalb der Maschine sowie die Gasversorgung von außen gewährleistet. Dies hilft, wiederholbare Filmeigenschaften und Ätzraten zu gewährleisten. Der Ätzprozess funktioniert in der Regel durch Anlegen eines elektrischen Feldes, um Plasma zu erzeugen und das Plasma auf die Bauteiloberfläche zu lenken. TEL TE 8500 (S) ATC enthält auch ein oberes Spannfutter mit Sensoren, die eine präzise Temperatur- und Druckregelung ermöglichen und zuverlässige und wiederholbare Ätzergebnisse liefern. Das obere Spannfutter ist so konzipiert, dass eine gleichmäßige Temperatur über das Bauteil gewährleistet ist und die Ebenheit im Laufe der Zeit auf eine Toleranz von 1-3 Mikrometer für das Substrat und 4-10 Mikrometer für doppelseitige Wafer eingehalten wird. Ein Reinigungswerkzeug auf Waferebene innerhalb des oberen Spannfutters trägt ebenfalls dazu bei, den Partikelaufbau sowie merkmalselektive Materialien zu minimieren. Darüber hinaus verfügt TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC über einen selbstjustierenden Lader, der eine effiziente Waferübertragung zwischen der Kammer und dem Loadlock ermöglicht. Dadurch wird eine Verletzung oder Kontamination der Substrate verhindert. Für zusätzliche Sicherheit ist die Anlage mit zahlreichen eingebauten Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die den Prozess bei Bedarf automatisch herunterfahren können. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ATC ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der den anspruchsvollsten Anforderungen der Halbleiterhersteller gerecht wird. Die Kammer liefert präzise, wiederholbare Ätzergebnisse mit minimalen Bauteilschäden. Das Modell sorgt auch für Produktionseffizienz und Sicherheit für den Anwender. Die Kombination aus fortschrittlichen Funktionen und Sicherheitsmerkmalen machen TEL TE 8500 (S) ATC zu einer idealen Wahl für die Serienproduktion.