Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500(S)ATC #9293867 zu verkaufen
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Der ATC-Ätzer TEL TE 8500 (S) ist ein Mikrofabrikationsgerät zur Mustertransfer- und Musterdefinition. Die TE 8500 Serie ist ein hochmodernes Instrument für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleitertechnologie. Das System arbeitet bei extrem niedrigen Temperaturen und feinen Funktionen, was zu niedrigen Betriebskosten führt. Seine Oxidations- und Planarisierungsfähigkeiten ermöglichen es Kunden, mikroskalen- und nanoskalige Merkmale genauer und zuverlässiger zu definieren. Der TE 8500 Ätzer verfügt über einen erweiterten automatischen Abstimmcontroller (ATC), der die Parameter für Ätz- und Materialentfernung automatisch optimiert. Es bietet auch eine Reihe von Betriebsarten, wie das chemisch modulierte Verfahren, das verwendet werden kann, um die Oberflächenrauhigkeit zu verfeinern. Die Steuerungssoftware TE 8500 wurde mit einer grafischen Benutzeroberfläche und integrierter Diagnose entwickelt, um die Abstimmung und Bedienung des Geräts zu vereinfachen. Die Maschine erzeugt Zeit- und Energiehistorien sowohl für die geätzte als auch für die planarisierte Waferoberfläche. Die Präzisionslastschlösser TE 8500 bieten eine saubere, nicht kontaminierte Umgebung für die zu bearbeitenden Wafer und bieten einen reibungslosen Transfer zwischen Waferkante und Waferbearbeitungskammer. Ein einzigartiges Sicherheitsmerkmal des TE 8500 Ätzers ist die integrierte Ionenquellenreinigung. Dies trägt dazu bei, dass die Ätzchemikalien und Abscheidungslinien sicher und frei von Partikelverunreinigungen für einen besseren, zuverlässigeren Ätzprozess sind. Der TE 8500 ist auf 1.2M, 2M- und 3M-Plattformen erhältlich. Alle Plattformen verfügen über integrierte Cognex Vision Systeme zur automatischen Wafer Erkennung und Ausrichtung. Die 2M- und 3M-Plattformen bieten zudem die Möglichkeit, kritische Abmessungen zu messen. Insgesamt ist der ATC-Ätzer TE 8500 (S) eine ideale Wahl für die Mikro- und Halbleitertechnik. Die kompakte Größe, die geringen Betriebskosten und die fortschrittlichen Funktionen machen es zu einer ausgezeichneten Wahl für Kunden, die ihre Produktionsprozesse optimieren möchten.
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