Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #293758442 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 von TEL ist ein modernes Ätz-/Ascherwerkzeug. Es ist eine hochautomatisierte Ausrüstung, die eine breite Palette von Prozessen mit hoher Präzision auch auf Waferoberflächen produziert. Dies macht es perfekt für fortschrittliche Photonik und MEMS-Fertigung. TEL TE 8500 nutzt eine vollständig integrierte Umgebung für die Prozessentwicklung vier verbesserte Substrathaftung und als Folge, verbesserte Overlay-Wiederholbarkeit und mehrstufige Verarbeitung. Dieser Ätzer/Ascher enthält auch ein fortschrittliches Lastverriegelungssystem mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafergrößen zu handhaben, von Standard- bis zu Großanwendungen. TOKYO ELECTRON TE 8500 beinhaltet Technologien wie die Stealth-Technologie, die einen Low-Profile-Roboter und minimierte Fehlerraten für die Substratbelastung bietet. Es integriert auch High Low Temperature Wafer Transfer und ultrapräzise Temperaturregelung für zuverlässiges Ätzen. Das Werkzeug ist in der Lage, hochpräzise Impulsätzzeiten bis zu zehn µS Präzision zu verwalten. Das Tool bietet einen kontinuierlichen Ätzverbesserungszyklus basierend auf der Dichtefeedback-Steuerung. TE 8500 bietet ultragenaue kontinuierliche Kammerreinigungsleistung, ist mit einem Trägheitsmodul ausgestattet und bietet auch Wäscher und Degas-Funktionen. Es verfügt über eine dreidimensionale Fähigkeit, Waferkarten für eine Vielzahl von Anwendungen und eine redundante Wafer-Positionserfassungs- und Handhabungseinheit zu identifizieren. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 bietet ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Stabilität mit dem Einsatz einer proprietären Gas-Abstraktionsmaschine und einer Reihe von Benutzeroberflächen, die Rezept-Bearbeitung und Ausführung ermöglichen. Ausgestattet mit spezieller Hardware für Integration und Ionenstrahltechnik bietet TEL TE 8500 zudem ein breites Prozessfenster und eine hohe Präzisionsauflösung auf Nanometerebene. Dieses spezialisierte Ätz-/Ascherwerkzeug ist eine ausgezeichnete Wahl für die Herstellung einer Vielzahl komplexer Prozesse im Zusammenhang mit der Halbleiterherstellung. Es ist hochpräzise und bietet Wiederholbarkeit und Stabilität für eine Vielzahl von Fertigungsanwendungen und ist in der Lage, Standard- und Großprojekte zu bearbeiten. Der Einsatz hochpräziser Automatisierungstechnologien von TOKYO ELECTRON TE 8500 macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für die anspruchsvollsten Anwendungen.
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