Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9059245 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für große Halbleiterherstellungsprozesse entwickelt wurde. Es ist in der Lage, Proben auf Wafer und einzelne Düsengrößen mit hohem Durchsatz und Genauigkeit zu ätzen oder zu aschen. Das System integriert ein modernes Substrathalterdesign zusammen mit einer hocheffizienten Kammerheizeinheit, die eine präzise Temperaturregelung während des gesamten Ätzprozesses ermöglicht. Die Maschine unterstützt eine breite Palette von Ätzchemikalien sowie speziell entwickelte Plasmen zur verbesserten Oberflächenaktivierung und Reinigung. TEL TE 8500 kommt mit einem hochauflösenden, Laser-Interferometrie-basierten Wafer-Profilierungswerkzeug, das eine Strukturierung der Steuerung im Nanometermaßstab ermöglicht. Seine Hauptkammer ermöglicht eine ausgezeichnete Ätzgleichmäßigkeit auf bis zu 200 mm Scheiben mit minimaler Planheit und Partikelfehlern. Die automatisierte Versorgung des Werkzeugs mit Wafern sowie ein sauberer Abwasseraufbau und fortschrittliche Abgasanlagen verhindern eine Verschmutzung der Ätzprodukte. TOKYO ELECTRON TE 8500 bietet zudem eine präzise Überwachung des Ätzprozesses mit integrierten Prozesskontrollfunktionen wie Flugzeit-Massenspektrometrie und Ionenflussmessstreifen. Es ist eine wirklich vielseitige Ätzanlage, die sowohl Prototypen- als auch Produktionsherstellung unterstützt.