Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9192932 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ist eine hochmoderne Plasmaätzanlage, die präzise und genaue Ätzergebnisse für die Produktion auf Waferebene liefert. Dieser Plasmaätzer verfügt über mehrere Kammern, eine fortschrittliche Prozesssteuerungs- und Automatisierungsschnittstelle für einfaches Setup und Fernbedienung und einen soliden ringförmigen Motor zum Antreiben der Waferstufe. Das System bietet eine hervorragende Flexibilität für die Prozesssteuerung und unterstützt sowohl die Verarbeitung mit einem Wafer als auch mit mehreren Wafern. Dieses Modell verfügt über eine lineare und radiale Ätzeinheit mit einer 4-seitigen, bornitridbeschichteten Kammer, die eine überlegene Wärmeleitfähigkeit und Gleichmäßigkeit bietet. Die motorisierte Waferstufe ermöglicht ein gleichmäßiges Ätzen von bis zu 14 Wafern auf einmal. Die steuerbaren Prozessparameter, wie Gasflussraten und Spannleistung, werden in Echtzeit überwacht und analysiert, um eine präzise Ätzumgebung und die optimalen Ätzergebnisse zu gewährleisten. Die Maschine kann auch mit Besonderheiten wie einer einstellbaren Ätzrate und einer maximalen Breitendetektion ausgestattet werden. TEL TE 8500 bietet dem Anwender eine Vielzahl von Ätzmöglichkeiten, darunter Nass, Trocken, Alkyl, Radikale, Fluor, Chlor und Bor. Die Prozessausdrücke wie Druck, Temperatur, Artkonzentration, Gasdurchflussraten und Ätzraten können auf die besten Ätzergebnisse abgestimmt werden. Das Werkzeug verwendet außerdem ein temperaturgesteuertes Substratfutter, um eine Überhitzung des Wafers zu verhindern. Ausgestattet mit den neuesten Funktionen der Prozesssteuerung und -überwachung bietet TOKYO ELECTRON TE 8500 maximale Ätzgenauigkeit und Wiederholbarkeit. Die manuellen Prozesseinstellungen können gespeichert und abgerufen werden, was einen einfachen Einrichtungsprozess ermöglicht. Darüber hinaus ist die Anlage so konzipiert, dass sie den neuesten Branchenvorschriften und Sicherheitsrichtlinien entspricht. TE 8500 ist ein leistungsstarkes Plasmaätzwerkzeug für die Produktion auf Waferebene. Seine fortschrittlichen Eigenschaften garantieren ausgezeichnete Ätzergebnisse, Einheitlichkeit und präzise Prozesskontrolle. Mit modernsten Funktionen wie Temperaturregelung, Artkonzentration, Gasdurchfluss und Wafer-Stufenbewegungsregelung ist es eine ideale Ätzlösung für serienorientierte Anwendungen.