Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9204238 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ist ein Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. TEL TE 8500 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung mit überlegener Leistung und Zuverlässigkeit. Es kann sowohl für hochpräzise als auch für Anwendungen mit hoher Produktivität verwendet werden. Das System ist in der Lage, ein gutes Maß an Gleichmäßigkeit, Geschwindigkeit und Genauigkeit zu erreichen. Das Gerät ist mit einer hochauflösenden Argon-Ionenstrahlquelle ausgestattet, um präzise Ätz- und Ascheprozesse zu ermöglichen. Die Quelle verfügt über eine breite Palette von Energiespektren und bietet eine gute Steuerung der Prozessparameter. Die Maschine umfasst auch Hochdruck-chemische Dampfabscheidung (HPCVD) und reaktive Ionenätzung (RIE) Fähigkeiten. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Ätz-/Ascheprozesse ohne Einbußen beim Durchsatz. TOKYO ELECTRON TE 8500 bietet zudem eine flexible Hardwarekonfiguration. Das Werkzeug kann mit bis zu zwei Ätz-/Aschekammern, Prozesssteuerungen und Monitoren konfiguriert werden. Auf diese Weise können Benutzer das Asset ganz einfach an spezifische Produktionsanforderungen anpassen. Das Modell enthält auch ein Hochgeschwindigkeits-I/O-Protokoll für die Kommunikation zwischen dem Gerät und der Bearbeitungslinie des Benutzers. In Bezug auf die Prozesssteuerung bietet das System Funktionen wie Ätz-/Ascheprofile, zahlreiche Prozessschritte, Mehrprozessrezepte und Alarme. Das Gerät bietet auch eine automatisierte Waferausrichtung und Substratverfolgung. Darüber hinaus unterstützt die Maschine die Remote-Prozessüberwachung über einen integrierten Webbrowser. In Bezug auf die Sicherheit entspricht das Tool vielen Sicherheitsstandards der Industrie wie CE, ESD und Gesundheits- und Sicherheitsvorschriften. Das Asset ist auch einfach zu bedienen und mit genauer Diagnose und direkter Modellsteuerung zu warten. Insgesamt ist TE 8500 Ätzer/Ascher eine zuverlässige und effiziente Ausrüstung mit hoher Leistung und Präzision. Es wird für Halbleiterherstellungsanwendungen verwendet, die präzises Ätzen/Aschen, automatisierte Prozesssteuerung mit Alarmen, Wafer-Ausrichtungs- und Tracking-Fähigkeiten und aktive Sicherheitsmaßnahmen anbieten. Das System ist sehr anpassbar und einfach zu bedienen, so dass es eine ideale Lösung für viele Industrieanlagen ist.
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