Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9290495 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500
ID: 9290495
Wafergröße: 8"
Dry etchers, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ist ein Etcher/Asher für fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse. Diese Ausrüstung ist für IC-Fertigungsprozesse wie die Geräteherstellung oder die Aufrechterhaltung eines qualitativ hochwertigen Produkts unerlässlich. Das System verfügt über eine breite Palette von Eigenschaften und Fähigkeiten, um genaues und präzises Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über ein Hochtemperatur-Präzisionsquarzrohr und eine fortschrittliche Magnetspiegelmaschine (MMS), um eine präzise Waferbearbeitung zu gewährleisten. Das Tool bietet schnelles, wiederholbares Ätzen, indem es fortschrittliches Quarzrohrdesign und hochwertige MMS-Optik verwendet. Diese Anlage kann auch eine breite Palette von Wafergrößen (76,2 mm bis 300 mm) handhaben. Dies ist ideal, um Prozessflexibilität und hohen Durchsatz zu erreichen. Darüber hinaus ist das Modell mit einem LED-Emissionsmonitor ausgestattet, der den Prozess kontinuierlich überwacht, um eine genaue Ätzung zu gewährleisten. Dieser Monitor bietet bis zu 40% mehr Prozesskontrolle. Es zeigt auch eine genaue Hinternoblatentemperaturkontrollausrüstung mit einem niedrigen Temperatursensor, der für die Qualitätsverarbeitung von Gerätoblaten erforderlich ist. Das System ist mit einem Bedienfeld und einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche integriert, um die Bedienung zu erleichtern. Dieses Panel bietet eine einfache und intuitive Möglichkeit, die Bedienung des Geräts zu steuern und zu überwachen. Darüber hinaus stehen fortschrittliche Alarmsysteme zur Verfügung, die frühzeitige Warnungen vor Prozessproblemen liefern. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine patentierte In-situ-Reinigungstechnik, die sich ideal für den Einsatz von HMDS-freien Materialien und Anwendungen eignet. Das Tool ist auch mit fortschrittlichen Reflow-Management-Funktionen ausgestattet, um eine einheitliche Wafer-Temperatur für mehr Qualität zu gewährleisten. Abschließend ist TEL TE 8500 ein wesentlicher Ätzer/Ascher für IC-Fertigungsprozesse. Diese Anlage verfügt über eine breite Palette von Fähigkeiten wie Hochtemperatur-Präzisionsquarzrohr, fortschrittliches Magnetspiegel-Modell (MMS), LED-Emissionsmonitor, präzise Rückseite Wafer Temperaturkontrollausrüstung, ein benutzerfreundliches Bedienfeld und eine patentierte in-situ Reinigungstechnologie. All diese Eigenschaften machen dieses System zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz- und Ascheprozesse.
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