Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9350658 zu verkaufen
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ID: 9350658
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Etcher, 8"
Main
AC Rack
Parts box
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine mit verbesserten Kosten und Produktivität. Dieses Halbleiterbauelement produzierende System ist ein wesentlicher Bestandteil des Herstellungsprozesses, der komplexe mikroskopische Schaltkreise für alle Arten von elektronischen Produkten schafft. Es kombiniert fortschrittliche Computersimulation und analytisch-chemische Techniken, um Materialschichten zu ätzen oder zu „aschen“ und gleichzeitig Temperatur, Druck und Gase genau zu steuern. Dieses Gerät bietet eine Reihe von Funktionen, um Geräteeinheitlichkeit zu gewährleisten, Geräteeinbußen zu reduzieren und Produktionsausfallzeiten zu minimieren. Seine fortschrittliche Reichweite Frequenz Netzteil bietet außergewöhnliche Wiederholbarkeit beim Ätzen und Aschen, so dass es ideal für hohe Serien läuft. Darüber hinaus überwachen seine hochauflösenden Sensoren die Prozessatmosphäre, um die optimale Gaszusammensetzung während des Ätz- oder Aschevorgangs aufrechtzuerhalten. Seine Steuerung minimiert außerdem den Gasstrom und leitet luftgetragene Partikel für eine sauberere Verarbeitungsatmosphäre ab. Seine einzigartigen Computeralgorithmen verbessern seine Leistung weiter, indem sie die Materialätz-/Aschezeit für glattere Geräteschichtungen und realistische Ätz-/Ascheergebnisse steuern. TEL 8500 Maschine ist einfach für spezifische Kundenanforderungen mit einer Reihe von multi-konfigurierbaren Ätzer/Ascher-Arbeitszellen konfiguriert. Kunden können zwischen 4 und 16 Arbeitszellen auswählen, die modifiziert werden können, um verschiedene Wafer zu bearbeiten. Das Tool verfügt außerdem über eine neue Pre-Scan-Funktion, die mithilfe von Laseroptiken Wafer-Verzerrungen erkennt und automatisch ablehnt. Die zum Patent angemeldete kontaktlose Zentriervorrichtung ermöglicht eine schnelle Wafermontage ohne Beschädigung. TEL TE 8500 asset hat auch einen modularen Aufbau mit mehreren Innovationsoptionen und Funktionen, die es sehr anpassungsfähig und flexibel machen. Es kann mit anderen Systemen synchronisiert werden, um eine vollständig integrierte Fertigungslinie für mehr Durchsatz und höhere Produktionserträge bereitzustellen. Kunden können auch Etcher/Asher Software (EAS) verwenden, um ihren Prozess zu überwachen, den Vorschub, die Temperatur und andere Parameter nach Bedarf anzupassen. Das EAS bietet auch die Aufzeichnung von Schlüsselparametern, Wafer-Mapping, PEEP-Verarbeitung, pro Zone-Anpassung und Rezepterzeugungsfunktionen. TOKYO ELECTRON TE 8500 Modell verwendet auch die neueste Technologie, um Wafer sicher und präzise bei hohen Geschwindigkeiten zu bearbeiten. Zu den automatisierten Sicherheitsfunktionen gehören mehrere ausfallsichere Alarme, leicht lesbare grafische Anzeigen und die Möglichkeit, technische Probleme mit einer ausführlichen Anleitung zur Fehlerbehebung zu diagnostizieren. Darüber hinaus bietet es eine breite Palette optionaler Zubehörteile, wie Ein-/Ausgabegeräte, Förderer und Umweltsteuerungen, die seine Produktionskapazitäten weiter ausbauen. TE 8500 ist eine zuverlässige, leistungsstarke Ätz-/Aschermaschine, die beispiellose Flexibilität und Leistung bietet.
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