Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500 #9402436 zu verkaufen

ID: 9402436
Wafergröße: 8"
Dry etchers, 8" Chamber: EB.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Dieses Tool liefert hochpräzise Ergebnisse bei hohen Geschwindigkeiten und niedrigen Kosten. TEL TE 8500 integriert mehrere Prozessabläufe mit feinen oder reinen Ätzfähigkeiten und ermöglicht eine hochpräzise Ätzung kleiner Muster bis zu 0,25 μ m. TOKYO ELECTRON TE 8500 verfügt auch über leistungsstarke Dünnschichtabscheidungsfähigkeiten, die Dünnschichtabscheidungsprozesse mit einem Niederdruckplasma ermöglichen, das entweder aus Wasserstoff (H2) oder Fluor (F2) erzeugt wird. Das System enthält auch eine erweiterte benutzerfreundliche grafische Steuerungsoberfläche, die eine einfache Programmeinrichtung und effiziente Rezeptsteuerung ermöglicht. Die Maschine kann mit anderen Fertigungsanlagen integriert werden, um den Datenaustausch und die Prozessabläufe zu optimieren. TE 8500 ist mit zwei Prozesskammern, zwei Lastschleusen, einem Gasversorgungskasten und einer Plasmaquelle ausgestattet. Der geeignete Ansatz wird verwendet, um ein hochdichtes Plasma zu erzeugen. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 hat ein spezielles Design, um die Prozessleistung bei geringerem Verbrauch an Ätzmaterial zu optimieren und die Umweltbelastung des Ätzprozesses zu reduzieren. Die Temperatur in der Verarbeitungskammer wird passiv stabilisiert, und ein innovatives Anodisierungssteuerungssystem (ACS) hält die Reinheit der Umwelt aufrecht. Das ACS verhindert auch, dass die Eloxierreaktion durch veränderte Umgebungsbedingungen beeinflusst wird. TEL TE 8500 ist mit einer Vielzahl von Sensoren ausgestattet, um in-situ Prozessparameter wie Plasmaleistung, Temperatur und Grad der Kammerreinheit zu überwachen. Die Monitore ermöglichen es dem Bediener, rechtzeitig Anpassungen vorzunehmen, um optimale Ergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ermöglicht die fortschrittliche Steuerung ein einfaches Rezept-Setup und sorgt für eine effiziente Steuerung des Ätzprozesses. TOKYO ELECTRON TE 8500 ist eine ausgezeichnete Wahl für diejenigen, die eine effiziente Ätzlösung benötigen. Seine Präzision, Geschwindigkeit, niedrigen Kosten und effiziente Prozesssteuerung machen es zu einer idealen Wahl für die Herstellung von Halbleiterbauelementen.
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