Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC #9148203 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC ist ein fortschrittliches Bearbeitungswerkzeug zum Ätzen und Aschen von Prozessen für Halbleiterscheiben. Seine fortschrittliche Technologie ermöglicht einen besseren Durchsatz, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, höhere Präzision, strenge Wiederholbarkeit und minimale Produktkontamination. Der modulare Aufbau der Maschine ermöglicht ein breites Spektrum an Konfigurationen und Anwendungen. Die Prozesskammer von TEL TE 8500P ATC kann in drei verschiedene Abschnitte unterteilt werden: Ätzen, Aschen und Laden-Sperren. Die Ätzstufe verwendet ein Prozessgas, um entweder Metalle oder Dielektrika von der Waferoberfläche zu entfernen. Das Aschen folgt dem Ätzen und verwendet ein sauerstoffhaltiges Prozessgas, um organische Rückstände, wie Photoresist, von der Waferoberfläche zu entfernen. Der letzte Abschnitt ist die Lastschloßkammer und dient der Einführung von Wafern in das System sowie der Bereitstellung einer Vakuumumgebung für den ablaufenden Prozess in. Zu den Hauptkomponenten von TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC gehören ein aktives elektrostatisches Spannfutter, Source/Duschkopf und eine Gaskombinationseinheit. Das elektrostatische Spannfutter hält den Wafer während der Bearbeitung und wirkt wie ein Halter, indem es eine thermische Steuerung vorsieht, um die Temperaturstabilität während des Ätzens und Aschens zu erhalten. Die Quelle/der Duschkopf wird zur Erzeugung von Prozessplasmen verwendet und besteht aus einer HF-Leistungsverteilungsplatine, einer induktiven Ionenquelle und einer Duschkopfbaugruppe. Die Gaskombinationseinheit mischt Prozessgase und fördert sie der Plasmakammer. Es überwacht auch die Druckdifferenz zwischen der Kammer und ihrem Lastschloß, um ein gewünschtes Vakuumniveau zu halten. TE 8500P ATC ist mit umfassender Prozesssteuerungssoftware ausgestattet. Seine Systemintelligenz nutzt den Autopilot-Modus, um den Ätz- und Ascheprozess kontinuierlich zu optimieren. Darüber hinaus kann sein Bordcomputer verschiedene Rezepte speichern, so dass verschiedene Bedingungen und Ströme mit nur einem Knopfdruck verwendet werden können. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ATC eine fortschrittliche, fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die einen hohen Durchsatz und Präzision in der Halbleiterindustrie bringt. Dank des modularen Aufbaus und der ausgeklügelten Software bietet es eine hervorragende Prozessgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit sowie eine minimale Verschmutzung. Seine fortschrittliche Technologie ermöglicht eine genaue Kontrolle kritischer Ätz- und Ascheparameter und ist damit ein großartiges Werkzeug für High-End-Halbleiteranwendungen.