Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293668446 zu verkaufen
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ID: 293668446
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Dry etcher, 6"
Process: Etch oxide
Main body
Load lock
Facilities connections
Dry pump
Gas panel
Chamber
Endpoint monitor
Power supply: 208VAC, 50 / 60 Hz
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P etcher/asher ist eine moderne Lithographie-Ausrüstung, die bei der Herstellung von integrierten Schaltungen, mikroelektronischen Produkten und Flachbildschirmen verwendet wird. Es nutzt Kohlendioxid (CO2) -Laser als primäre Energiequelle, um Mikrostrukturen in Siliziumwafern zu erzeugen. Der CO2-Laserstrahl wird schnell und präzise erzeugt, mit einer Pulsbreite von weniger als einer Nanosekunde und einer Fließfähigkeit von bis zu 1,8 J/cm2. Der Laserstrahl kann auf Größe, Form und Intensität eingestellt werden, um die gewünschte Mikrostruktur zu erzeugen. Über zwei integrierte Galvanometerspiegel und zwei Zoomobjektive wird der Laserstrahl mit hoher Präzision gerichtet und gesteuert. TEL TE 8500 P Ätzer/Ascher verfügt zudem über ein ausgeklügeltes Mustererkennungssystem. Diese Einheit verwendet einen Algorithmus, um Muster in eingehenden Bildern zu erkennen und den Laserstrahl entsprechend einzustellen. Dadurch wird sichergestellt, dass das gezielte Muster im Wafer genau wiedergegeben wird. TOKYO ELECTRON TE-8500 P bietet Anwendern eine breite Palette von Prozessen, vom Trockenätzen bis zur chemischen Dampfabscheidung. Es kann mit einer Vielzahl von Substraten, einschließlich Silizium, Saphir und Germanium verwendet werden. Es bietet auch eine Reihe von Materialien optimierte Prozesse, wie Nassätzen, Trockenätzen, schnelles Wärmeglühen und Einwaferabheben. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, den optimalen Pegelbereich und Regelparameter für jeden einzelnen Prozess zu identifizieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Produktionsausbeuten maximiert und aufrechterhalten werden, während eine Minimierung von Fehlern und Mängeln erreicht wird. TOKYO ELECTRON TE 8500 P ist auch mit zahlreichen Robotiksystemen kompatibel, so dass Hersteller die Automatisierung für die Produktion nutzen können. Der Ätzer/Ascher ist mit einer breiten Palette von Wartungs- und Fehlerüberwachungssystemen ausgestattet, die einen kontinuierlichen Betrieb mit hohem Erfolg ermöglichen. TE 8500P ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das mit einem leistungsstarken CO2-Laser präzise Mikrostrukturen in Substraten erzeugt. Es verfügt über eine ausgeklügelte Mustererkennung und optimale Steuerungsparameter, so dass es ideal für die Herstellung kleiner, komplizierter Komponenten ist. Es ist auch mit einer Reihe von Robotik-Systemen kompatibel, die eine automatisierte Produktion ermöglichen. Zudem sorgen die zahlreichen Fehlerüberwachungssysteme für einen zuverlässigen, kontinuierlichen Betrieb.
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