Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #293757419 zu verkaufen

ID: 293757419
Weinlese: 1992
Dry etcher 1992 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ist ein Ätzer/Ascher, der zur Vorbereitung von Proben für die Inspektion und Analyse von Halbleitermaterialien verwendet wird. Diese Einheit kombiniert zwei Technologien - Plasmaätzen und chemisches Ätzen - um präzise, wiederholbare Ergebnisse auf einer Vielzahl von Materialien zu erzielen. Seine Plasmaätztechnologie nutzt eine Hochfrequenz-Funkquelle, um ein Plasmafeld geladener Ionen zu erzeugen, was einen konsistenten Ätzprozess und eine minimale Exposition gegenüber unkontrollierten Umgebungsbedingungen ermöglicht. Der Plasmaätzprozess ist einstellbar, um eine Ätzratenkontrolle zu ermöglichen und ermöglicht bis zu fünf auswählbare Prozessgase, so dass der Anwender die idealen Ätzkonfigurationen für eine Vielzahl von Materialien, Profilen und Prozessen erhalten kann. TEL TE 8500 P verfügt zudem über chemische Ätztechnologie für höhere Selektivität und präzisere Ätzstopps. Dieses System soll die Gleichmäßigkeit von Maskenmustern auf der Probenoberfläche steuern und selektiv die gewünschten Bereiche ätzen. Es bietet auch die Flexibilität von variablen Prozessbedingungen, einschließlich Ätzzeit, Badtemperatur, pH-Wert, Widerstand und Spülung. Der chemische Ätzprozess ist in der Lage, eine hohe Selektivität für die Werkzeuge des Typs p und n und andere Materialien sowie präzise Ätzstopps zu erzielen. TOKYO ELECTRON TE-8500 P ist ein effizientes, benutzerfreundliches System, das präzise Ätzprofilierung mit minimalem Bedieneingang ermöglicht. Es verfügt über eine erweiterte Benutzeroberfläche mit LCD-Touchscreen-Auswahl, so dass der Benutzer auf eine vollständige Palette von Tools zugreifen kann, um die genauen Ätzbedingungen für konsistente Ergebnisse einfach einrichten und beibehalten zu können. TE-8500 P ist mit präzisen Sensoren ausgestattet, die die Kammer- und Wafertemperaturen, Gasströme und Ionenströme überwachen, um einen konsistenten Ätzprozess zu gewährleisten. Ein umfangreiches Spektrum an Prozessparametern wird gesteuert und überwacht, wie Ätzrate, Kammerdruck, Temperatur und aufgebrachte Leistung, wodurch eine vollständige Optimierung des Ätzprozesses ermöglicht wird. Abschließend ist TE 8500 P ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der die Flexibilität bietet, eine Vielzahl von Materialien mit präzisen, wiederholbaren Ätzraten zu ätzen. Die fortschrittliche Schnittstelle, präzise Sensoren und anpassbare Ätzprozessparameter sorgen für optimale Ätzergebnisse für jede Anwendung. TE 8500P ist eine zuverlässige und benutzerfreundliche Lösung zum Ätzen und Vorbereiten von Halbleitermaterialien für Inspektion und Analyse.
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