Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P #9412456 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500P
ID: 9412456
Wafergröße: 8"
Dry etcher, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500P ist ein fortschrittlicher Ätzer für den Einsatz in Halbleiter- und anderen industriellen Anwendungen. Es wurde entwickelt, um hohe Präzision, Zuverlässigkeit und Prozesswiederholbarkeit zu liefern. TEL TE 8500 P basiert auf einer Vakuumätzanlage mit Flachlastschloss und Ladestation. Es ist mit einer 450mm-Kammer mit einem 2,5 „und 4“ Bearbeitungsbereich und einem Einzel-, Dual-oder Vier-Schacht-Design ausgestattet. Es verfügt über eine automatisierte Frequenz Control™ und Oxid Assist™ Kammerreinigungstechnologien, um konstant hohen Durchsatz und Verarbeitungsgleichförmigkeit zu gewährleisten. TOKYO ELECTRON TE-8500 P verwendet hochpräzise optische Photoelektronensysteme für eine verbesserte Positionsgenauigkeit. Es kann auch mit Zwei-Position-Ein/Aus-Einstellungen für jede Stufe automatisiert werden, um die Leistung der Kammer und die Prozesssteuerung zu optimieren. Darüber hinaus sorgen druckgesteuerte Prozesse für schnelle und wiederholbare Ätz- und Abscheideschritte. TOKYO ELECTRON TE 8500 P wird mit TEL proprietärem APT OPC geliefert. Der APT OPC ist eine modellbasierte optische Näherungskorrektur, die optimale Lithographie- und Ätzergebnisse ermöglicht. Es ist auch in der Lage, in 45nm oder unter Auflösung zu arbeiten und ist mit einer Vielzahl von Rezepten kompatibel. Der Ätzer verfügt über eine ergonomische Steuerung mit einer intuitiven grafischen Benutzeroberfläche und automatisierten Betriebsparametern, die als Rezepte in der Datenbank gespeichert werden können. TE-8500 P kann weiter angepasst werden, um die Produktionsanforderungen mit wiederverwendbaren Sequenzen, einer Dateistreaming-Funktion, Plug-in-Modulen und erweiterten OPC-Funktionen zu erfüllen. TEL TE-8500 P umfasst mehrere Sicherheitsmerkmale, einschließlich der Überdruck-Sicherheitsverriegelung, die Prozessabläufe zwischen akzeptablen Drücken mit einer dreistufigen Passcode-Zugangseinheit gewährleistet. Es verfügt außerdem über eine dynamische Temperaturregelmaschine und ein chemisches Management, das eine Verschmutzung des Ätzwerkzeugs verhindert. Abschließend ist TOKYO ELECTRON TE 8500P Etcher eine ideale Wahl für fortgeschrittene Halbleiterätzanwendungen. Es kombiniert hohe Präzision, Zuverlässigkeit und Prozesswiederholbarkeit mit spezialisierten Ätztechnologien, intuitiven Steuerungssystemen und verschiedenen Sicherheitsmerkmalen für einen optimierten Ätzprozess.
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