Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PATC #9236832 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PATC etcher/asher ist eine fortschrittliche Musterplattform, die entwickelt wurde, um die höchste Prozesssteuerung und Präzision für Anwendungen in der Halbleiterindustrie bereitzustellen. Dieses Gerät verfügt über eine hochdurchsatzreiche, kostengünstige Plattform mit der Flexibilität, verschiedene Ätzprozesse durchzuführen. Das System nutzt fortschrittliche Trockenätztechnologie, um präzise Musterung in Bereichen bis zu 0,13 zu bieten. Die Einheit besteht aus fünf Kernteilsystemen- der Plasmasteuerung, der Ätzkammer, dem hochpräzisen mechanischen Scanner, der Lastschloßmaschine und dem Vakuumwerkzeug. Die Plasmakontrolle dient zur Überwachung und Steuerung von Plasmaparametern wie Ionendichte, Ionen-zu-Elektronen-Verhältnis, Kammerdruck und Temperatur. Die Ätzkammer ist in eine isolierte Kammer eingeschlossen, um eine saubere Arbeitsumgebung zu schaffen. Der mechanische Scanner mit hoher Genauigkeit dient zur präzisen Steuerung des elektrostatischen Feldes zwischen Quelle und Ziel und ermöglicht eine präzise Strukturierung. Das Lastschloßmodell dient zur schnellen Übertragung von Substraten aus der Transferkammer in die Ätzkammer. Schließlich wird die Vakuumausrüstung verwendet, um sicherzustellen, dass die gesamte Baugruppe luftdicht und funktional ist. Das System ist mit einem hohen Automatisierungsgrad ausgelegt, um Prozessvariablen zu reduzieren und den Durchsatz zu erhöhen. Jedes Substrat kann mit vordefinierten Ätzparametern konfiguriert werden, was einen kontinuierlichen und effizienten Ätzprozess ermöglicht. Das Gerät verfügt über eine eingebettete Plattform mit integrierter Bewegungssteuerung und Kernprozessalgorithmen, um sicherzustellen, dass jeder Prozessschritt mit Konsistenz genau wiederholt wird. Die Maschine kann auch an Peripheriegeräte wie Partikelmonitore, Gasmonitore, Wafer-Handling-Systeme und Lastschlösser angeschlossen werden, um die Integration in die Fabriklinie zu ermöglichen und die Produktivität weiter zu verbessern. Die gesamte Abbildungsfläche von TEL TE 8500PARTC Werkzeug beträgt 700 mal 700 mm und ist somit ideal für großformatige Halbleiterbauelemente. Das Asset verfügt zudem über eine hohe Wiederholbarkeit von 99% und sorgt dafür, dass in jeder Runde gleichbleibend hochwertige Geräte produziert werden. Das Substrat kann in beliebiger Richtung und Orientierung geätzt werden, und die automatisierte Prozesssteuerung sorgt dafür, dass jedes Mal präzise und konsistente Ergebnisse erzielt werden. TEL TE 8500PATC etcher/asher ist ein fortschrittliches Modell, das höchste Genauigkeit und Prozesskontrolle bietet. Seine hohe Genauigkeit und Wiederholbarkeit, kombiniert mit einem hohen Durchsatz, machen es zu einer idealen Lösung für komplexe Musterprozesse in der Halbleiterindustrie.