Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #155452 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für Hochdurchsatz-, Präzisionsätz- und Ascheprozesse entwickelt wurde. Es bietet eine überlegene Genauigkeit bei einer maximal erreichbaren Auflösung von 1,02 µm bzw. 50 µm zum Ätzen und Aschen, was zu einer dünneren Filmdicke führt. Das Gerät ist auch in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Siliziumoxid, Siliziumnitrid und Titannitrid zu verarbeiten, so dass miniaturisierte und hochdichte Geräte hergestellt werden können. TEL TE 8500PE verfügt über einen hohen Gasfluss von bis zu 2.500 sccm und bis zu vierundvierzig Hochgeschwindigkeits-Rezeptprogrammen, die in seinem internen Speicher gespeichert sind, sodass Benutzer schnell zwischen verschiedenen Rezepten programmieren und wechseln können. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE verfügt auch über ein leistungsstarkes Embedded-Computer-Betriebssystem mit einer benutzerfreundlichen grafischen Oberfläche, wodurch Rezepteinstellungen und Parameteranpassungen einfach sind. Weitere Merkmale sind eine Doppelkathoden-HF-Stromversorgung bis 7KW und eine Prozessüberwachungseinheit zur Echtzeit-Datenerfassung. TE 8500PE wird mit einer automatisierten Kassette-zu-Kassette-Oblatentransportmaschine ausgestattet, die bis zu 200 Oblaten auf einmal bearbeiten kann, hoch und Hogenauigkeitsprozesse sichernd. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine Auto-Checkout-Funktion, um die Rezeptparameter auf Prozessstabilität zu überwachen und anzupassen. Eine präzise Kontrolle über Temperatur, Druck und andere Ätz- und Ascheparameter wird durch die Regeleinrichtung bereitgestellt, wodurch Benutzer eine hohe Wiederholbarkeit erzielen können. Neben den Prozesssteuerungen ist TOKYO ELECTRON TE 8500PE auch mit Sicherheitsmerkmalen wie einem Mehrfachlastverschluss und einem Sicherheitsschild ausgestattet, um den Bediener vor Strahlung zu schützen. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über einen automatischen Reinigungszyklus und bietet eine schnelle Wartung mit optimiertem Industriedesign, was die Betriebskosten senkt. TE 8500 PE ist ein idealer Ätzer/Ascher für Präzisionsätz- und Ascheprozesse und bietet überlegene Genauigkeit und Wiederholbarkeit, hohen Durchsatz, eine breite Palette von Prozessmaterialien, leistungsstarke Funktionen und Sicherheitsfunktionen.