Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #197617 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE
ID: 197617
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1993
Oxide etcher, 8" 1993 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher vom Trockenätztyp für die Verarbeitung von Halbleitersubstraten. Dieses Instrument dient zur präzisen hochauflösenden Abscheidung von dünnen Filmen auf der Oberfläche von Wafern. Die Ausrüstung bietet eine hervorragende Prozesssteuerung und verfügt über viele Funktionen, um wiederholbare Prozessergebnisse zu gewährleisten. TEL TE 8500PE führt das Ätzen mit hoher Geschwindigkeit und mit wenig Partikelverunreinigung durch. Der Ätzer ist mit einer Plasmaquelle und einem direkten HF-Generator ausgestattet, wodurch eine Vielzahl unterschiedlicher Ätztechniken zum Einsatz kommen kann. Die präzise Steuerung von Parametern wie Druck, Leistung und Gasfluss ermöglicht es dem Anwender, das kritische Prozessergebnis festzulegen und nie zu beeinträchtigen. Zur Aufrechterhaltung einer stabilen und sauberen Atmosphäre während des Ätzvorgangs wird ein Hochvakuumpumpsystem eingesetzt. Dies geschieht durch die Aufrechterhaltung eines geringen Gehalts an Partikeln und Gasmolekülen in der Kammer. Neben dem Ätzen ist TOKYO ELECTRON TE 8500 PE in der Lage, das Trockenätzen von Titan-Wolfram und anderen Materialien durchzuführen. Es ermöglicht auch die Abscheidung von Resist oder Kieselsäure und anderen chemischen Komponenten während des Prozesses, die die Oberfläche neben dem Ätzen gleichmäßiger machen. Das Gerät eignet sich gut für Präzision und wiederholbares Ätzen von Tiefe, Breite und Flächenkontrolle. In Bezug auf Sicherheits- und Schutzmechanismen verfügt TEL TE 8500 PE über Funktionen, die einen sicheren Betrieb des Instruments gewährleisten. Es gibt Strahlenschutz in Form einer magnetischen Abschirmung, die die Anwender vor schädlicher Strahlung schützt. Zusätzlich ist die Maschine mit einem Anti-Kontaminationsfilter versehen, der den Eintritt von Staub oder anderen Partikeln in die Ätz-/Ascherkammer verhindert. Dies ist besonders wichtig für die Vermeidung möglicher Schäden am Produkt. TOKYO ELECTRON TE 8500PE ist ein idealer Ätzer für die Herstellung hochpräziser Bauteile. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und der hervorragenden Prozesskontrolle ist es in der Lage, wiederholbare Ergebnisse zu produzieren, die den höchsten Industriestandards entsprechen. Das Instrument bietet auch die Gewährleistung der Sicherheit und Kontaminationskontrolle, um die Produktqualität zu gewährleisten.
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