Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293635445 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293635445
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1996
Dry etcher, 6"
Can be converted to 8"
Power rack
Operation rack
RF Power rack
(2) Process kits
Conversion kit, 8"
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE Ätzer/Ascher ist ein modernes Ätzgerät, das ein Gleichstrom (DC) -Plane-Magnetron-Plasmaverfahren in Kombination mit physikalischer Dampfabscheidung (PVD) verwendet. Dieser hochentwickelte Ätzer/Ascher wird zum Plasmaätzen und Dünnschichtabscheiden verwendet. Das Gerät ist mit vielen technologischen Eigenschaften ausgestattet und bietet gegenüber herkömmlichen Ätz-/Abscheidetechniken mehrere Vorteile. TEL TE 8500PE verfügt über ein einzigartiges Dual-Source-Design und bietet eine große Flexibilität bei Ätz-/Abscheidungsprozessen. Es bietet die Möglichkeit, verschiedene Gase wie Helium, Chlor, Argon, Sauerstoff und Wasserstoff zu verwenden, was eine große Vielseitigkeit bei Ätz- und Abscheidungsprozessen ermöglicht. Das leistungsstarke Magnetron im Gerät erzeugt ein intensives und gleichmäßiges Plasmafeld und sorgt für optimale Ätz-/Abscheidungsprozessergebnisse. Darüber hinaus ermöglicht die Gleichstromversorgung eine größere Kontrolle über Ätz- und Abscheideraten, was einen qualitativ hochwertigen Ätz-/Abscheidevorgang ermöglicht. Mit einer sehr hohen Abscheidungsrate ist TOKYO ELECTRON TE 8500 PE in der Lage, einen hohen Abdeckungsgrad zu erreichen. Dieser fortschrittliche Ätzer/Ascher verfügt über eine große, geschlossene Kammer mit einem komplexen Design, das eine zuverlässige Temperatur- und Druckkontrolle bietet und Qualitätsprobleme beim Ätz-/Abscheidungsprozess verhindert. Darüber hinaus ist das Gerät mit Technologien wie Saugstoßfänger, optische Emissionsspektroskopie und Quarzkristallüberwachung ausgestattet, die eine Qualitätskontrolle ermöglichen. TE 8500 PE verwendet auch fortschrittliche Sicherheits- und Umweltschutztechnologien, die eine automatische Lecksuche, Kohlenstofffiltersysteme und ein Vakuumentleerungssystem umfassen, was es zu einer ausgezeichneten Wahl für die Serienproduktion macht. Darüber hinaus ist das Gerät mit einem automatisierten Wartungssystem ausgestattet, mit dem das Gerät einfach gewartet und extern aktualisiert werden kann. Zusammenfassend ist TE 8500PE etcher/asher ein anspruchsvolles Ätz-/Abscheidungsgerät, das ein vielseitiges und zuverlässiges Verfahren zum Ätzen und Abscheiden bietet. Seine fortschrittlichen Eigenschaften machen es zu einer perfekten Lösung für volumenstarkes, gleichmäßiges Ätzen und Abscheiden. Das leistungsstarke Magnetron, die große geschlossene Kammer und die ausgeklügelten Sicherheits- und Wartungsfunktionen machen es zu einem idealen Gerät für jede Ätz-/Ablagerungseinrichtung.
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