Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500PE #293643494 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500PE ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Es bietet eine überlegene Prozessleistung unter Verwendung von nicht prozessualem Betrieb und automatisierter Materialverwaltung. TEL TE 8500PE verfügt über eine große Ätzkammer von 300 mm, die bis zu 8 Wafer auf einmal aufnehmen kann. Der Ätzer bietet auch eine hochpräzise Steuerung von Ätzparametern, einschließlich Ätzrate, Nivellierung, Freiform, Ätzprofil und Gleichmäßigkeit, sowie wählbare Widerstandswerte. TOKYO ELECTRON TE 8500 PE nutzt die modernste CVD-Technologie (Chemical Vapor Deposition), die eine dünne Folienschicht auf der Ätzoberfläche erzeugt. Durch die Einstellung von Temperatur und Druck kann mit dem CVD-Verfahren die chemische Reaktivität und Selektivität des Ätzprozesses eingestellt werden. Dadurch können TE 8500 PE Muster mit extrem feinen Strukturen und reduzierter Formelementgröße erzeugen. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 PE bietet auch eine breite Palette von Prozessoptionen, mit mehreren Materialien einschließlich low-k, organische, dotierte und CMP-fähige Prozesse zur Verfügung. Der Ätzer umfasst auch erweiterte Prozessautomatisierungsfunktionen mit Online-Wafer-Mapping, OCR, Ertragsüberwachungs- und Datenverarbeitungsoptionen, die es Anwendern ermöglichen, ihre Prozesse schnell zu optimieren und die Gesamtproduktivität zu steigern. TE 8500PE ist in der Lage, eine Reihe verschiedener Ätzchemien zu handhaben, wobei sowohl nasse als auch trockene Ätzverfahren zur Verfügung stehen. Es kann sowohl für RIE (Reactive Ion Etching) als auch für DRIE (Deep Reactive Ion Etching) -Prozesse konfiguriert werden, mit einer Vielzahl von chemischen Optionen dank seines großen beheizten Duschkopfes, einer langlebigen Edelstahlkammer und einer einstellbaren Prozessgassteuerung. TOKYO ELECTRON TE 8500PE ist auf einfache Bedienung und Wartung ausgelegt. Das System verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche, ein Display und Sensoren für Benutzerfreundlichkeit sowie eine Reihe von integrierten Selbstdiagnose- und Wartungsdienstleistungen, mit denen Benutzer die Ergebnisse von Ätzungen schnell beheben und auswerten können. Insgesamt bietet TEL TE 8500 PE hochpräzise Ätzleistung und Prozessflexibilität. Dank fortschrittlicher Automatisierungsfunktionen und benutzerfreundlichem Design ist der Ätzer/Ascher ideal für eine Reihe von Halbleiterherstellungsanwendungen.