Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC #9194482 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC ist ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher von TEL. Es ist eine Mehrkammerausrüstung, die aus zwei getrennten Kammern besteht, eine zum Ätzen und eine zum Aschen. Dies ermöglicht einen hohen Durchsatz und eine geringe Substrat-zu-Substrat-Variation. Das System verfügt über mehrere erweiterte Funktionen, die Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit bieten. Die Ätzkammer des 8500S enthält eine Dreizonenquelle mit Sauerstoff-, Helium- und chlorbasierten Quellgasen zur optimierten Ätzung verschiedener Materialien. Die Ascherkammer ist sowohl für Metall- als auch für dielektrische Schichten ausgelegt, indem sie eine präzise Steuerung des Gasstroms ermöglicht. Die Asche bietet auch die Möglichkeit, die Menge/das Verhältnis des Gasstroms für jeden Spülvorgang zu programmieren und zu steuern. In beiden Kammern ist die 8500S mit einer konfigurierbaren Ätz-/Aschekammer und Plattengeometrie ausgestattet, die eine gleichmäßige und wiederholbare Ätz-/Ascheleistung bietet. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, die eine detaillierte Kontrolle der Prozessparameter und der Rezepturentwicklung ermöglicht. TEL TE 8500S ESC verfügt auch über fortschrittliche Sicherheitsmaßnahmen wie eine verriegelte Betriebs- und Umweltschutzmaschine, die jede Art von Unfällen verhindert und eine sichere Umgebung gewährleistet. Darüber hinaus verfügt das Tool über automatisierte Fehlererkennungs- und Korrekturfunktionen, die die Chancen auf Prozess- und Asset-Fehler reduzieren. Die 8500S nutzt eine vakuumgesteuerte atmosphärische Umgebung, um eine saubere, kontaminantenfreie Ätz- und Ascheumgebung zu gewährleisten. Das Modell verfügt auch über eine Gaseinspritzeinrichtung, die die Einführung von Fremdgasen wie Radikalen oder Molekülen wie Chlor oder Fluor ermöglicht. TOKYO ELECTRON TE 8500S ESC ist ein sehr zuverlässiger Ätzer/Ascher, der den Anwendern die für ihre industriellen Zwecke notwendige Zuverlässigkeit, Geschwindigkeit und Leistung bietet. Die Kammer ist kompakt und einfach in andere Systeme integriert. Mit erweiterten Funktionen wie automatischer Fehlererkennung, benutzerfreundlicher Software und einer konfigurierbaren Ätz-/Aschekammer bietet der 8500S ESC effiziente und präzise Ätz- und Ascheleistungen.