Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293608636 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 293608636
Weinlese: 1996
Oxide etcher
Wafer type: Flat
Chuck type 1: Polymide
Chuck type 2: ESC
Cassette, 6"
Monitor type: LCD
Signal tower: PATLITE SLF-V (R / Y / G / B)
Wafer transfer module:
Transfer robot: Load lock 1, 2, 3 / 6" or 8"
Transfer robot motor: R-Motor, E-motor (L/L 1,2,3)
Transfer robot driver: R-Driver, E-driver (L/L 1,2,3)
Process module 1:
APC Valve: TYLAN MDV-108
APC Heater and heater controller: Heater type
DAIHEN MEM-20SA Matcher
DAIHEN MFT-20SB Power splitter
VACCUM GENERAL CMLA-11 C/M (Baratron): 10 Torr
B.P He Control (Edge):
C/M (Baratron): TYLAN CMLA-21 100 TORR
PCV Unit / He controller: AERA PV-104C
MFC: SEC-7440
SEIKO SEIKI STP-H600C-T107 TMP
GAP
DC HV Module
Gas module: P/C1
MFC / Gas1: O2 / 20 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas2: N2 / 100 SCCM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas3: AR / 2 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas4: CF4 / 200 SLM / STEC / SEC-7440
MFC / Gas5: CHF2 / 200 SCCM / STEC / SEC-7440
DAIHEN MFG-20SA P/C Power generator
LASEM TECH BCU-L152 Dual chiller
EDWARDS iQDP80 P/C Pump
EDWARDS iQDP80 L/L Pump
JOBIN YVON H-10VIS EPD
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die häufig im Halbleiterherstellungsprozess eingesetzt wird. Es verwendet fortschrittliche Technologie, um ein hohes Maß an Präzision, Genauigkeit und Geschwindigkeit für Ätz- und Ascheprozesse zu bieten. Das innovative Design von TEL TE 8500 (S) ermöglicht hochautomatisierte und präzise Ätz- und Ascheprozesse. Dies geschieht mit verschiedenen Geräten, wie Wafer-Überwachungskameras und speziellen Arten von Ätz-/Aschermitteln. Darüber hinaus kann das System ferngesteuert und programmiert werden, um verschiedene Ätz-/Ascherprozesse schnell und präzise mit sehr minimalem menschlichen Input durchzuführen. Darüber hinaus ist das Verfahren mit seinem Vakuum-Ätz-/Ascher-Verfahren hocheffizient, was Substratschäden verringert und die Ätzgleichmäßigkeit verbessert. Die Maschine ist auch mit einer Reihe von Sensoren ausgestattet, wie Gesamtdruckmessgerät, O2-Inhaltssensor und Filmdickenmonitor, die eine präzise und genaue Prozessüberwachung ermöglicht. Darüber hinaus ist das Gerät für eine einfache Wartung ausgelegt, was die Stillstandszeiten für Produktionslinien verringert. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ist in der Lage, mit einer umfangreichen Palette von Materialien wie Polysilizium und Siliziumoxid, bipolaren, CMOS und analogen Geräten zu arbeiten, was eine größere Vielseitigkeit für Produktionslinien ermöglicht. Es kann auch mit einer Reihe von Durchmessern arbeiten, wie 200mm, 300mm und 450mm Größen, sowie bietet eine Reihe von Waferträgern, von 2-Zoll bis 8-Zoll-Quadrat-Wafer. In Bezug auf die Prozesssteuerung bietet TE 8500 (S) eine breite Palette von Optionen, wie eine verbesserte Prozesssteuerung und eine eingeschränkte Überwachung. Die Maschine ist auch unter Berücksichtigung der Benutzersicherheit konzipiert, und bestimmte Sicherheitsmerkmale, wie die Frontlinie der Sicherheit, können aktiviert werden, um Bediener vor Umweltgefahren zu schützen. Das Ätz-/Ascherewerkzeug TE 8500 (S) ist eine zuverlässige und flexible Lösung für jede Produktionslinie, die eine Reihe von Funktionen und Fähigkeiten bietet, die schwer zusammenzubringen sind. Sein fortschrittliches Design bietet hohe Standards an Genauigkeit, Geschwindigkeit und Präzision für eine Vielzahl verschiedener Ätz- und Ascheprozesse. Seine Fernbedienung, automatisierte Prozesssteuerung und benutzerfreundliches Design machen es zu einem hochwirksamen Werkzeug für jede Produktionslinie.
Es liegen noch keine Bewertungen vor