Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500S #293643118 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500S etcher/asher ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen verwendet wird. Es ist ein statisches prozessveränderndes System, das in der Lage ist, die Ätz- und Ascheprozessparameter an die spezifischen Bedürfnisse des Kunden anzupassen. Diese Einheit ist in der Lage, Tieftemperatur-, hochauflösende Ätz- und Ascheprozesse sowie eine komplexe mehrstufige Verarbeitung durchzuführen und arbeitet mit einer breiten Palette von Materialien. TEL TE 8500 (S) hat eine kompakte Bauweise, die einen Backofen, einen Förderer, eine Ladeschleuse, eine Prozesskammer und eine Waferübertragungsmaschine umfasst. Es umfasst auch zwei In-situ-Ascheprozesskammern, die jeweils unabhängig voneinander in einer Parallelkonfiguration arbeiten können, die eine präzise Steuerung der Ätz-/Ascheprozessparameter für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessanforderungen ermöglichen. Die Prozesskammer verfügt über die Fähigkeit, 20inch Wafer mit einem maximalen Druck von 220 m Torr und Temperatur bis zu 180℃ zu verarbeiten. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ist mit einem fortschrittlichen automatischen Tuning-Tool ausgestattet, mit dem Benutzer die Prozesseinstellungen einfach anpassen können. Es verfügt auch über eine anwenderwählbare Gasverteilungssteuerung, die präzise Prozessparameter ermöglicht, sowie ein fortschrittliches Überwachungsmodell zur Steuerung des Ätz-/Ascheprozesses. Es enthält auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie ESD-Erkennung, Überdruckschutz und toxische Gaslecküberwachung, um einen sicheren Betrieb zu gewährleisten. Neben dem ausgeklügelten Gerätedesign verfügt TE 8500S auch über eine Reihe fortschrittlicher Prozesssoftware. Seine Process Chemist-Software ermöglicht es Benutzern, Prozessrezepte nach Bedarf anzupassen und feinabzustimmen, während seine Process Commander-Software es Benutzern ermöglicht, die Systemparameter auf verschiedene Weise zu steuern. TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) ist auch mit SIEMENS und Agilent AssetView Systemen kompatibel, so dass Benutzer Einheitendaten einfach verfolgen und analysieren können. TOKYO ELECTRON TE 8500 (S) bietet eine Vielzahl von Features und Funktionen, die es zu einem vielseitigen Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen machen. Das fortschrittliche Maschinendesign, die Sicherheitsfunktionen und die Palette der Prozesssoftware machen es zu einer idealen Wahl für jede Ätz- und Ascheanwendung.