Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC #197618 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC
ID: 197618
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Oxide etcher, 8" Chamber 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC ist ein Ätzgerät, das verwendet wird, um Strukturen mit extremer Genauigkeit auf Mikro- und Nanoskala zu strukturieren und zu formen. Es verfügt über ein hochpräzises Rasterelektronenmikroskopie-basiertes Design, das Funktionen bis zu 7 Nanometer erstellen kann. Diese Funktion ermöglicht es dem Benutzer, Strukturen bis zur einzelnen Atomauflösungsebene zu erstellen. TEL TE 8500SA TCESC-Ätzsystem verwendet eine Rasterelektronenstrahltechnik, um Elektronen mit Submikron-Präzision zu lenken, um komplexe Strukturen in einer Reihe von Materialien zu ätzen. Zu den verarbeitbaren Materialien gehören Quarz, Silizium, Glas und Metalle. Die Einheit verfügt über ein hochauflösendes Massenspektrometer, das die Zusammensetzung einer Probe zur Überwachung des Ätzprozesses genau erfassen kann. Mit dem Massenspektrometer kann die Maschine jedes in der Probe vorhandene Material genau identifizieren. Diese Funktion ermöglicht es dem Ätzwerkzeug, den Ätzprozess automatisch an die Zusammensetzung der Probe anzupassen, um konsistente Ergebnisse während des gesamten Produktionsprozesses zu gewährleisten. Darüber hinaus ist TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC Ätzanlage mit einem einzigartigen „Echtzeit“ Bewegungssteuerungsmodell ausgestattet. Diese Bewegungssteuerungseinrichtung ermöglicht es dem Benutzer, Größe, Form und Textur der Strukturen genau zu steuern. Beispielsweise kann eine Nanomaske mit höchster Genauigkeit erzeugt und der gewünschte Betrieb, wie z.B. Ätzzeit, jederzeit eingestellt werden, um sicherzustellen, dass das Etch-Verfahren präzise und wiederholt optimiert wird. TE 8500SA TCESC-Ätzsystem verfügt zudem über einen thermisch gekoppelten Spülgaskasten. Diese Funktion ermöglicht es dem Anwender, den Druck und die Gemischwerte der verschiedenen Spülgase einschließlich Argon, Stickstoff und Sauerstoff einfach und zuverlässig zu regeln. Der Ätzprozess nutzt auch chemische Prozesse, so dass der Anwender eine Vielzahl von Ätzprozessen durchführen kann. Schließlich bietet TEL/TOKYO ELECTRON TE 8500SA TCESC-Ätzeinheit eine ideale Plattform für Forschungs- und Entwicklungszwecke. Seine hohe Präzision und Vielseitigkeit ermöglicht es dem Anwender, die gewünschten Strukturen für eine Reihe von Projekten und Anwendungen genau und zuverlässig herzustellen. Darüber hinaus sorgt sein benutzerfreundliches Design dafür, dass die Maschine einfach zu bedienen und zu warten ist.
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