Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #293638696 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K
ID: 293638696
Vertical LPCVD furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K ist ein Ätzer/Ascher, der kompromisslose Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz für die kritische Gerätebearbeitung liefert. Dieser etcher ist hoch automatisiert, schnell, Mehrstationsausrüstung, die für die höhere Leistung in produktionsbändigen Halbleitergeräten entworfen ist. Mit einem patentierten, extrem schmalen anisotropen Sputterübertragungsverfahren und einem Doppelstrahl-Hochdurchsatzätzer bietet TEL FORMULA ALD High-K höchste Genauigkeit, Wiederholbarkeit und höchsten Durchsatz. Die verteilte Computerarchitektur des Systems bietet eine flexible Werkzeugfabrik-Umgebung, die für Reaktionsfähigkeit, Durchsatz und Kosten ausbalanciert ist. Das proprietäre Design der Verarbeitungsmaschine des Geräts bietet Anwendern ein hohes Maß an Kontrolle und die Fähigkeit, Prozessrezepte mit den unterschiedlichsten Prozesskombinationen anzupassen. Die Maschine unterstützt auch zahlreiche Substratformate, darunter 200mm und 300mm Wafer. Mit dem ALD High-K haben Ingenieure die Freiheit, einzigartige Leistungsprofile zu fertigen, ohne auf Genauigkeit, Durchsatz, Wiederholbarkeit oder Stabilität zu verzichten, dank der massiv parallelen Architektur des Werkzeugs. Das ALD High-K ist kompatibel mit verschiedenen Maßnahmen der Umweltkontrollkonventionen, integriert verschiedene Wafertypen und -größen für ein optimiertes Verarbeitungserlebnis und wird von einer Multi-Core-Verarbeitungsarchitektur angetrieben. Die Transport- und Umschlaganlage des ALD High-K ermöglicht die tiefste Prozessintegration von der Oberflächenvorbereitung bis zur Abscheidung. Der Automatisierungsprozess minimiert die Verzögerungen und Störungen durch die Substrathandhabung und verbessert gleichzeitig den Durchsatz, die Genauigkeit und die Wiederholbarkeit erheblich. Die außergewöhnliche Gleichgewichtskontrolle des Modells reduziert die Wahrscheinlichkeit von gestörten Substraten. Mit dem ALD High-K können Ingenieure Schichten einige Nanometer dicker oder dicker mit größerer Präzision und Durchsatz verarbeiten. Kurz gesagt, TOKYO ELECTRON TEL/TOKYO ELECTRON FORMULA ALD High-K ist ein Ätzer/Ascher von beispielloser Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz. Diese Ausrüstung bietet Flexibilität und die Fähigkeit, Rezepte mit beispielloser Kontrolle anzupassen, um eine überlegene Gerätebearbeitung und höchste Produktivität zu gewährleisten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor