Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9149552 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K ist ein Ätzer/Ascher zum Ätzen einer Vielzahl von Halbleitermaterialien, einschließlich dielektrischer Materialien, Metalle und Legierungen. Die Maschine ist ein kompaktes, eigenständiges Ätzgerät, das die Flexibilität eines On-Wafer- oder Batch-Ätzprozesses bietet. Es verfügt über eine integrierte Quarzkristall-Mikrowaage zur ultrapräzisen Messung des Ätzprozesses auf einem Wafer sowie eine optische Endpunktdetektion des Wafermaterials. TEL TELFORMULA ALD High-K bietet fortschrittliche Prozesssteuerung mit einer erweiterten Palette von Prozessparametern, einschließlich fortschrittlicher Leistungssteuerung, thermischer Oxidationsrate, Ätzraten, Ätzgaszusammensetzung und Gasdrucksteuerung. Das System bietet auch eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) und eine erweiterte clusterbasierte Clustersteuerung für mehrere Prozesse. Das Gerät verwendet einen linearen koaxialen HF-Generator, wodurch es in der Lage ist, Material auf eine genaue Tiefe mit minimalen seitlichen Beschädigungen zu ätzen. Diese Funktion bietet eine höhere Gleichmäßigkeit und bessere Abbildungsergebnisse. Das Gerät bietet auch eine genaue Dünnschichtabscheidung zur Herstellung von Schichten mit maßgeschneiderten elektrischen Eigenschaften und ist mit einem umfassenden Werkzeugsatz ausgestattet, um die Implementierung der optischen Lithographie zu erleichtern. Die Prozessgasquelle der Maschine ermöglicht es dem Benutzer, die Ätzrate zu steuern und das am besten geeignete Gas für einen ausgewählten Prozess auszuwählen. Es ist auch mit einer HF-Vorspannungssteuerung ausgestattet, um die optimale Ionenenergie für den Ätzprozess bereitzustellen. TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD Die Prozesskammer von High-K bietet auch eine einstellbare Temperatur- und Druckregelung, um die Prozesskonsistenz zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die Maschine mit einer patentierten thermischen Wachstumsmaschine entwickelt, um die kurzfristige Partikelerzeugung zu minimieren und eine hohe Prozesskonsistenz zu gewährleisten. TELFORMULA ALD High-K bietet außerdem ein automatisiertes Be- und Entladewerkzeug für einfache Bedienung, ein computerbasiertes Softwarepaket für Prozesssimulationen und einen modularen Aufbau für einfache Werkzeugaufrüstung und Erweiterbarkeit. Mit einem umfassenden und einfach zu bedienenden Softwarepaket ist die Maschine für die Arbeit mit einer Vielzahl von Substraten konzipiert, was sie zu einer idealen Wahl für eine breite Palette von Industrie- und Unterhaltungselektronik-Anwendungen macht. Mit hoher Leistung, Flexibilität und Genauigkeit ist TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K eine ideale Wahl für fortgeschrittene Ätzanwendungen.