Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9193848 zu verkaufen

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TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K
Verkauft
ID: 9193848
Vertical LPCVD furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in der anspruchsvollen Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Die Maschine ist in der Lage, extrem dünne Materialschichten (wie Oxide) auf Oberflächen mit hoher Präzision und Wiederholbarkeit aufzubringen, was sie ideal für Anwendungen wie Datenspeicher oder DRAM-Speicher macht. Das ALD High-K verwendet ein chemisches Verfahren, bei dem trockenchemische Vorläufer verdampft und in eine reaktive Kammer injiziert werden. Anschließend wird die Kammer erhitzt und es findet eine chemische Reaktion zwischen den Vorstufen und den Substratoberflächen unter Vakuum statt. Durch die Reaktion werden dünne Materialschichten auf das Substrat abgeschieden und anschließend das überschüssige Material mit einem Spülgasstrom aus der Kammer gespült. Das ALD High-K verfügt über einen 16-Bit-Hauptprozessor mit 10-Bit-Digital-Analog-Wandlern, die es ermöglichen, die Parameter des Abscheidungsprozesses wie Temperatur, Druck und Durchflussrate genau zu steuern. Die Maschine kommt auch mit einer eingebauten Auto-Tune-Funktion, die die besten Einstellungen für einen bestimmten Prozess erkennen kann, Zeit und Energie sparen, indem die Notwendigkeit, den Prozess kompliziert abzustimmen. Was TEL TELFORMULA ALD High-K wirklich hervorhebt, ist seine unglaubliche Geschwindigkeit; es kann eine Abscheidungsrate von bis zu 80nm/min erreichen, wodurch es zu den schnellsten verfügbaren Ätzern/Aschern gehört. Die Vorrichtung ist auch auf langfristige Zuverlässigkeit ausgelegt; Seine Vollmetallkammer ist so konzipiert, dass sie ihre Lebensdauer erhöht und eine hohe Korrosionsbeständigkeit aufweist. Das ALD High-K verfügt zudem über eine intuitive und äußerst benutzerfreundliche Steuerung. Die Maschine kann über die Bordsoftware im Standalone-Modus betrieben werden oder über die integrierten seriellen/USB-Anschlüsse an einen Computer angeschlossen werden. Das digitale Display zeigt alle notwendigen Informationen, wie Abscheidezeit und Vorläuferkonzentrationen. Zusammenfassend ist TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der eine schnelle und genaue Abscheidung von dünnen Filmen ermöglicht. Die Maschine verfügt über ein digitales Display, einen 16-Bit-Hauptprozessor, 10-Bit-Analog-Digital-Wandler und eine intuitive und benutzerfreundliche Steuerung, die es ideal für den Einsatz in einer Vielzahl von Branchen, die Präzisionsätzen von Oberflächen erfordern.
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