Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K #9311152 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELFORMULA ALD High-K ist ein Ätzer/Ascher, der für fortschrittliche Verpackungsprozesse, Wafer-Level-Herstellung und Lithographie entwickelt wurde, um eine ultrahochauflösende und überlegene Strukturierung auf Substraten mit hohem Seitenverhältnis zu erreichen. Dieser Ätzer verwendet eine Dual-Gun-Ätzausrüstung, die von einer fortschrittlichen gepulsten Elektronenstrahlkanone angetrieben wird, die eine schnellere Einfallsabtastung und eine bessere Kontrolle des Ionenstrahl-Phasenverhältnisses ermöglicht. Es hat eine erweiterte vertikale Substrattemperaturregelung, die ein präzises Ätzen auf einer Vielzahl von Substraten ermöglicht. Der Ätzprozess wird durch eine Inertgasatmosphäre unterstützt, die eine höhere Ätzselektivität für höhere k-Materialien bietet. Darüber hinaus verfügt der Ätzer über eine einzigartige Elektronenstrahl-Fokussierungsfähigkeit, die eine gleichmäßige Abdeckung gewährleistet, für eine ausgezeichnete Strukturierung von Durchgangswafervias und Kontakten. Es ist ideal für Anwendungen, die eine gleichmäßige Abdeckung über große Flächen erfordern. Darüber hinaus bietet es hervorragende Kantenglätte und Passivierungseigenschaften auf Ätzoberflächen, ohne dass eine Maske oder Resist erforderlich ist. Der Ätzer verfügt über ein Turbopumpensystem, das eine schnelle Evakuierung der Ätzkammer ermöglicht, was den Durchsatz erhöht und Ausfallzeiten reduziert. Das Gerät verfügt auch über eine fortschrittliche Kühlmaschine, um gleichmäßige Temperaturen des Substrats während des Ätzens zu gewährleisten. Das Kühlwerkzeug reduziert auch die für das Ätzen erforderliche elektrische Leistung durch abnehmende Substratbelastung. Der Ätzer ist in der Lage, verschiedenste Materialien wie Metalle, Oxide, Nitride und Polymere zu verarbeiten. Es verfügt über eine fortschrittliche Datenerfassung und -handhabung, die eine einfache Kommunikation mit digitalen Bibliotheken ermöglicht und Anwendern eine umfassende Prozesskontrolle zum Ätzen und Glühen bietet. Das Modell ist mit den meisten großen CAD-Paketen kompatibel und läuft sowohl unter Windows als auch unter Linux. Zusammenfassend ist TEL TELFORMULA ALD High-K ein Ätzer/Ascher, der für das Ätzen und Strukturieren von fortschrittlichen Verpackungsprozessen, der Herstellung von Wafern und der Lithographie entwickelt wurde, um eine extrem hohe Auflösung auf Substraten mit hohem Seitenverhältnis zu erreichen. Es ist mit einer fortschrittlichen, Dual-Gun-Ätzausrüstung, Inertgasatmosphäre, Kühlsystem und Turbopumpeneinheit ausgestattet. Die Maschine ist kompatibel mit CAD-Paketen und läuft auf Windows- und Linux-Betriebssystemen, so dass es ideal für eine Reihe von Anwendungen.