Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY A #293763021 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY A
ID: 293763021
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Vertical furnace, 12" Process: HTO Power supply: 208 V, Single phase / 480 V, 3 Phase 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY A ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine, die von TEL Limited (TOKYO ELECTRON) entworfen und hergestellt wurde. Als führender Anbieter innovativer Halbleiterfertigungsanlagen hat TEL/TOKYO ELECTRON TEL TELINDY A entwickelt, um den anspruchsvollen Anforderungen fortschrittlicher Halbleiterherstellungsprozesse gerecht zu werden. Dieses System ist weit verbreitet in Forschungs- und Produktionsanlagen zum präzisen Ätzen und Reinigen von Halbleitermaterialien und hilft, hohe Bauelementleistung und -ausbeute in der Halbleiterindustrie zu erreichen. TOKYO ELECTRON TELINDY A ist mit einer Reihe fortschrittlicher Funktionen und Technologien ausgestattet, die eine präzise und effiziente Verarbeitung von Halbleiterscheiben ermöglichen. Das Gerät ist ein vielseitiges Werkzeug, das sowohl Trockenätz- als auch Plasmaveraschungsprozesse durchführen kann und somit für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterherstellung geeignet ist. Das Ätzverfahren ist wesentlich für die Definition von Schaltungsmustern auf Halbleiterscheiben, während das Ascherverfahren zur Entfernung von Photoresistmaterialien und Rückständen von der Waferoberfläche verwendet wird. TELINDY A verfügt über eine Hochleistungs-Vakuumkammer, die in der Lage ist, eine kontrollierte Umgebung für die Ätz- und Ascherprozesse zu erhalten. Die Vakuumkammer ist mit fortschrittlichen Gaszufuhrsystemen ausgestattet, die eine präzise Steuerung von Prozessgasen und Durchflussraten ermöglichen und gleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse über die Waferoberfläche gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über Plasmaerzeugungstechnologie, um eine hochreaktive Plasmaumgebung für eine effiziente Materialabtragung und Oberflächenmodifizierung zu schaffen. Einer der Hauptvorteile von TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY A ist die fortschrittliche Prozesssteuerung, die es Anwendern ermöglicht, eine präzise Kontrolle über Ätz- und Ascheparameter zu erreichen. Das Werkzeug ist mit einer ausgeklügelten Prozesssteuerung ausgestattet, die wichtige Prozessgrößen wie Gaszusammensetzung, Druck, Temperatur und Plasmaleistung überwacht. Durch die Anpassung dieser Parameter in Echtzeit können Anwender die Ätz- und Ascheprozesse optimieren, um mit hoher Wiederholbarkeit und Genauigkeit die gewünschten Prozessergebnisse zu erzielen. TEL TELINDY A ist auch für die Hochdurchsatz-Halbleiterherstellung konzipiert, mit Funktionen, die schnelle Be- und Entladevorgänge ermöglichen. Die Anlage verfügt über ein Roboter-Wafer-Handling-Modell, das den Wafer-Transfer-Prozess automatisiert und das Risiko von Kontamination und Beschädigung von Wafern während der Verarbeitung reduziert. Diese Automatisierungsfunktion trägt zur Verbesserung der gesamten Prozesseffizienz und Produktivität bei und macht TOKYO ELECTRON TELINDY A zu einem idealen Werkzeug für Produktionsumgebungen mit großvolumigen Halbleitern. Neben der fortschrittlichen Prozesssteuerung und Automatisierung ist TELINDY A auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, um den Benutzerschutz und die Zuverlässigkeit der Ausrüstung zu gewährleisten. Die Ausrüstung ist mit mehreren Sicherheitsverriegelungen und Notabschaltmechanismen ausgelegt, um Unfälle und Geräteschäden während des Betriebs zu vermeiden. Darüber hinaus besteht das System aus hochwertigen Materialien und Komponenten, die gegen Korrosion und Verschleiß beständig sind und eine langfristige Zuverlässigkeit und Leistung in der Halbleiterherstellung gewährleisten. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY A eine leistungsstarke Ätz-/Aschereinheit, die fortschrittliche Prozesssteuerungs-, Automatisierungs- und Sicherheitsfunktionen für eine präzise und effiziente Halbleiterfertigung bietet. Mit seinen vielseitigen Fähigkeiten und innovativen Technologien ist TEL TELINDY A ein wertvolles Werkzeug für Forscher und Halbleiterhersteller, die hohe Geräteleistung und -ausbeute in der wettbewerbsfähigen Halbleiterindustrie erreichen wollen.
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