Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY B #9014197 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9014197
Wafergröße: 12"
Vertical diffusion furnaces, 12"
Base unit for DCS HTO process
Includes:
Cabinets / units / controllers included
Furnace cabinet (including ultra-clean air flow system)
Scavenger and water cooling unit
Power supply unit (U/P box)
(Includes control unit, transformers, SCR, and breaker unit)
Main controller (WAVES)
Temperature controller
FOUP and wafer handling automation included
FOUP load port
FOUP transfer
18 FOUP stocker
FIMS port
KHI wafer load automation
Variable pitch change mechanism (w/5 fork)
Auto tube shutter
Boat elevator w/ boat rotation mechanism
Mid temp heater: VMM-56-002 1 Included
Includes outer/inner T/C
Integrated gas system for DCS HTO 1 Included
N2O gas stick 1 stick Included
DSC gas stick 1 stick Included
Purge N2
Vacuum vent
Exhaust vent
Piping tape heater
PAC (Pre Activation Chamber)
Vacuum foreline configurations
Stainless steel manifold
80A foreline piping
Foreline heater
APC main valve
Vacuum gauge & pressure switch
US safety (S2-0302, S8-0999)
Quartzware set for DCS HTO 1 Included
(Including x2 of 75 slots Ladder Boat)
System options:
N2 Load lock option 1 Included
- O2 analyzer - NGK SH-302
- O2 consumption rate controller
Dual boat operation 1 Included
N2 boat cooling shower 1 Included
Fixture for start up and maintenance 1 Included
Final valve unit 1 Included
NH3 coating capability
Hi-temp capacity (<850°C)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY B ist eine Art Ätzer, auch Ascher genannt. Es ist ein Halbleiter und photovoltaische Gerätherstellungsausrüstung, die ein Vakuumsystem, eine Prozessquelleinheit und eine Prozesseinheit umfasst. Es verwendet Elektronenstrahl-Technologie und eine spezielle Software-Maschine, um den Ätzprozess in Gleichmäßigkeit und Genauigkeit zu steuern. Der Ätzer setzt auf drei Hauptkomponenten seines Werkzeugs - das Vakuum-Asset, das Prozessquellenmodell und die Prozesseinheit. Die Vakuumausrüstung pumpt Luft und Gas aus der Kammer und ist zentral zu ihr die Turbomolekularpumpe. Andererseits spielt das Prozeßquellensystem eine Schlüsselrolle bei der Versorgung des Plasmaquellengases, auf das über ein integriertes Netzwerk aus Massenstromreglern, Druckreglern und Mehrgaslochrohren zugegriffen wird. Schließlich liefert die Prozesseinheit den Ätzprozess innerhalb der Kammer durch Steuerung der angelegten Gasdrücke, Durchflussraten, Leistung und Taktung der Einheit. TEL TELINDY B Ätzer kann hohe Genauigkeit und Kontrolle innerhalb des Ätzprozesses durch den Elektronenstrahl-Verdampfer bieten. Dieser Strahl wird verwendet, um die Verdampfung von Dünnschichtquellen in der Dickenregelung zu steuern, und er hat auch die Fähigkeit, Platten selektiv zu beschichten. Der Ätzer ermöglicht auch die Anordnung vieler Prozessschichten zum Ätzen durch den Einsatz einer CD-Messmaschine (Critical Dimension). TOKYO ELECTRON TELINDY B Ätzer verfügt auch über hervorragende Temperaturkontrollfunktionen, die helfen können, die Gleichmäßigkeit zwischen verschiedenen Substraten zu regulieren. Einer der zusätzlichen Vorteile dieses Ätzers besteht darin, dass der Bediener in der Lage ist, Prozessparameter wie Kammerdruck, Kühlgasdruck und Gasdurchfluss zu nutzen, um den Ätzprozess auf seine Bedürfnisse abzustimmen. Schließlich ist der Ätzer sehr fortschrittlich, da er mit einem intuitiven Software-Tool ausgestattet ist, mit dem der Bediener den Ätzprozess optimieren und viele Aufgaben automatisieren kann. Dies erleichtert dem Bediener die Einstellung verschiedener Prozessparameter und stellt sicher, dass das Ergebnis des Ätzprozesses konsistent und genau ist. Insgesamt ist TELINDY B ein hochentwickelter Ätzer, der über einen Elektronenstrahlverdampfer verfügt, um Genauigkeit und Kontrolle über den Ätzprozess zu gewährleisten. Bediener können die Prozessparameter verwenden, um den Ätzprozess auf ihre Bedürfnisse abzustimmen, während das intuitive Software-Asset eine einfache Bedienung und Automatisierung bestimmter Aufgaben gewährleistet.
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