Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxide #9294226 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxid ist eine fortschrittliche Trockenätzplattform, die für die Herstellung von erweiterten ICs geeignet ist. Es kombiniert traditionelle Ätz- und fortschrittliche Oxidationstechnologien, um präzise Ätzlösungen für die Herstellung komplexer Strukturen auf einer breiten Palette von Materialien bereitzustellen. Der Ätzer/Ascher besteht aus zwei benachbarten Arbeitskammern, beide unter Vakuum: die untere Kammer ist die Ätzkammer und die obere die Oxidationskammer. Die Ätzkammer enthält zwei unabhängige Magnetrons, die zur Abgabe des Ätzgases und zur Erzeugung von hochdichtem Plasma dienen. Mit dieser Kammer können Materialien wie Metalle, organische Materialien und Dielektrika aufgrund ihrer extrem hohen Dichten geätzt werden. Die Ätzrate ist genau und von Probe zu Probe wiederholbar. Die Oxidationskammer verwendet Atomschichtabscheidung (ALD), um eine Oxidschicht auf einem beliebigen ausgewählten Bereich zu erzeugen. Die Abscheidungsmaterialien können sowohl auf das erforderliche Schutzniveau als auch auf das spezifische Substrat abgestimmt werden. Das ALD-Tophat-Feature sorgt auch für die Gleichmäßigkeit des geätzten Bereichs. TEL TELINDY IRAD ALD Oxid Ätzer/Ascher verfügt auch über zahlreiche Prozesse wie Waferorientierung, Substratheizung und -kühlung, Ätzprofilmessung und Prozesswiederholbarkeit. Seine Software-Schnittstelle verfügt über integrierte Rezeptmanagement-Funktion, die Sicherheit und Kompatibilität mit jedem Prozess zu gewährleisten. Es ist ein zuverlässiges und robustes Werkzeug mit erstaunlicher Präzisionskontrolle aller notwendigen Parameter. Die in TOKYO ELECTRON TELINDY IRAD ALD Oxid Ätzer/Ascher verwendete ALD Oxidations- und Ätztechnologie macht es zum perfekten Werkzeug für hochpräzises Ätzen und Abscheiden. Es ist extrem benutzerfreundlich und bietet fortschrittliche Nivelliertechnologie, um wiederholbares und genaues Ätzen und Abscheiden zu gewährleisten. Es kann für eine Vielzahl von Substraten wie Metalle, organische Materialien und Dielektrika verwendet werden, und seine erweiterten Merkmalssätze macht es zu einem großartigen Werkzeug für die Geräteherstellung.
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