Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Nitride #9219405 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Nitrid (TELINDY) ist ein Ätzer/Ascher zur Abscheidung von Oxid-, Nitrid- oder Metall-Intermetallic-Filmen. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das verwendet werden kann, um eine Vielzahl von integrierten Schaltungskomponenten mit hohen Temperaturen zu schaffen. TEL TELINDY Nitrid Geräte bieten automatisierte Verarbeitung und programmierbare Rezeptsteuerung. Es kommt mit einer kompletten Reihe von Funktionen und Zubehör, die einen proprietären Ofen, ein Hochvakuum-System, eine HF- oder DC-betriebene Plasmaquelle und bis zu zwei Dual-Gas-Modus-Quellen enthalten. Die funktionsreiche Einheit kann Folienschichten von einem Viertel bis zu einem halben Mikrometer dick mit hochpräziser Steuerung verarbeiten und Folien von gleichbleibend hoher Qualität herstellen. Der Ofen innerhalb der TELINDY-Maschine ist in der Lage, bis zu 1200 ° C mit maximaler Leistung von 3.2kW zu heizen. Es hat einen vergrößerten Heizraum mit einem verstellbaren Suszeptor zusammen mit einem integrierten Substrathalter für eine bessere Abscheideeffizienz. Das Werkzeug ist außerdem mit einem Hochvakuum ausgestattet, das einen Grunddruck von 3x10-7 Torr erreichen kann. Die Plasmaquelle dient zur Bereitstellung eines sauberen Basenätzes vor der Filmabscheidung. Zur Steuerung der Plasmaaktivität kann eine Vorrichtung wie ein Faraday-Käfig oder ein elektrostatisches Spannfutter verwendet werden. Dieses Modell wird mit HF bis 500 Watt oder DC bis 1200 Watt betrieben. Die Dual-Gas-Modus-Quellen verfügen über eine Vielzahl von Gasarten, einschließlich Ar, H2O2, O2, SiH4 und CH4, um sowohl Gate-Oxid-Ätzen und Abscheidung durchzuführen. Die TELINDY Ausrüstung ist zuverlässig, präzise und effizient. Die fortschrittliche PVD-Technologie (Physical Vapor Deposition) wurde optimiert, um einen hochwertigen Nitridfilm für hochmoderne IC-Komponenten zu gewährleisten. Die Funktionen des Systems machen es zu einem der beliebtesten Ätzer/Ascher-Systeme in der integrierten Schaltungsindustrie.