Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9194459 zu verkaufen
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ID: 9194459
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2008
Vertical LPCVD furnace, 12"
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide ist eine sehr vielseitige Ätz- und Ascheausrüstung, die sowohl in nasser als auch in trockener Umgebung betrieben werden kann. TEL TELINDY Oxid wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Prozessanwendungen wie Oxidätzen, Oxidaschen und Planarisieren zu bewältigen. TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide System verfügt über eine vollautomatische Einheit für effiziente Ätz- und Ascheprozesse. Seine automatisierten Funktionen, gepaart mit einer leistungsstarken thermischen Plasmaquelle und einer effizienten Gasliefermaschine, machen TELINDY Oxide Tool für eine Vielzahl von Produktionssituationen und Anwendungen gut geeignet. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Ätzer/Ascher bietet komplette Prozessflexibilität einschließlich hoher Ätzraten, Niedertemperaturbetrieb und langer Ätzzeiten. TEL TELINDY Oxide Asset ist so programmiert, dass es geätzt wird und eine breite Palette von Prozessparametern verwendet, um es dem Benutzer zu ermöglichen, die Prozessbedingungen an seine spezifischen Bedürfnisse anzupassen. Das Oxidmodell ist in der Lage, temperaturkontrolliertes Trockenätzen auf über 1500 ° C zu erzielen und kann bei anisotropen, isotropen oder ultraselektiven Ätzraten qualitativ hochwertige Ergebnisse erzielen. Die Oxide-Ausrüstung enthält auch ein modernes Plasmaquellen- und Gaszufuhrsystem, um einen hocheffizienten Ätzprozess zu schaffen. TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Einheit bietet eine breite Palette von ermöglichenden Technologien für Ätz- und Ascheprozesse. Es verfügt über eine patentierte elektrodynamische Gas-Sweep-Technologie zur Steuerung der Gasdispersion beim Ätzen. Darüber hinaus enthält seine Plasmaquelle mehrere spezialisierte Patronen, die für die Herstellung von qualitativ hochwertigen Ätzen und Aschen ausgelegt sind. Schließlich bieten seine Hochleistungsoblatentransportbestandteile schnelle Oblate laden Durchfluss sowie thermosflaschengeregelte genaue und Temperaturgasstromkontrolle für die Spezialheizung und das Abkühlen/ausladen. TELINDY Oxide Maschine verfügt auch über ein fortschrittliches Prozess-Monitoring-Tool, das Echtzeit-Überwachung von Prozessparametern im Ätz- und Ascheprozess ermöglicht. Dieser Vermögenswert mit seinen Oblate-für-Oblate-Prozesssteuerungsfähigkeiten berücksichtigt verbesserte Prozessoptimierung, vergrößerten Ertrag und bessere Leistung. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide Modell bietet hervorragende Leistung, Zuverlässigkeit und Wert in Ätz- und Ascheprozessen. Die kostengünstige und effiziente Oxid-Ausrüstung eignet sich perfekt für Anwendungen, bei denen Genauigkeit und Konsistenz beim Ätzen und Aschen von Folien unerlässlich sind. Mit seinen fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen bietet das TEL TELINDY Oxid-System das effektivste und präziseste Ätzen und Veraschen, das heute in der Branche verfügbar ist.
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