Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide #9253819 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Oxide
ID: 9253819
Wafergröße: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Oxid (oft abgekürzt TEL Oxid) ist ein modernster Trockenplasmaätzer und Ascher aus branchenführenden TOKYO ELECTRON und TEL/TOKYO ELECTRON. TEL Oxid ist das ideale Werkzeug für hochpräzise Metalloxidätzung, Oxidveraschung und Oberflächenreinigung. TOKYO ELECTRON Oxid ist einzigartig dadurch, dass es den Plasmastrahl kurz vor dem Substrat kollimiert und eine gleichmäßige Verteilung von Sauerstoff und anderen reaktiven Gasen erzeugt, was zu einem konsistenten Ätzprofil führt. Dies macht TEL/TOKYO ELECTRON Oxide zu einem Favoriten für Metall- und Metalloxidätzen, die tiefe, flüchtige Ätzmuster erfordern. TEL Oxid ist ein Einkammer-Trockenätzer, der den Ätzprozess vereinfacht. Es verwendet einzelne Waferwerkzeuge, um Metalloxid-Substrate zu ätzen. Es verwendet auch einen Fernduschkopf, um eine schräge Einfallsätzung zu ermöglichen und den Ätzstrahl nur auf die Bereiche zu lenken, die eine erhöhte Ätzung erfordern. Zu seinen Eigenschaften gehört ein integrierter Elektronenausgleich, der eine präzise Prozesssteuerung ermöglicht. TOKYO ELECTRON Oxid hat auch automatische Anpassungen für Sauerstoff und Arsen für einen zuverlässigen Betrieb und verbesserte Prozessergebnisse. Darüber hinaus ist es mit einem antistatischen System ausgestattet, das einen großen Schutz vor statischen elektrischen Feldern bietet. TEL/TOKYO ELECTRON Oxide verfügt auch über eingebaute Temperaturregel- und Gasverteilungssysteme, zwei Schlüsselkomponenten, die für eine erfolgreiche Plasmaätzung und Oxidation notwendig sind. Die Temperaturregelung hilft, die Temperatur zu stabilisieren, um konsistente Ätzergebnisse zu gewährleisten. Das Gasverteilungssystem sorgt für eine optimale Einspritzung einer gleichmäßigen Verteilung des Reaktivgases im gesamten Raum. Darüber hinaus verfügt TEL Oxide über die unübertroffene Vielseitigkeit, um eine breite Palette von Ätzprozessen zu umfassen. Es unterstützt kleine Ätzanwendungen, wie sie in MEMs verwendet werden, sowie größere, komplexere Ätzanwendungen, wie sie in Dünnschichttransistoren und anderen High-End-Anwendungen verwendet werden. TOKYO ELECTRON Oxid ist ideal für Kunden, die zuverlässige und leistungsstarke Ätzfähigkeiten für Metall- und Metalloxidsubstrate benötigen. Dieser hochmoderne Trockenätzer/Ascher bietet branchenführende Funktionen und ist das perfekte Werkzeug für Präzisionsätzen und Oxidation.
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