Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M #9223290 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M ist eine Ätz-/Aschereinrichtung, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es ist für Photoresist-Stripp- und Ätzanwendungen in IC-Fertigungsprozessen konzipiert und bietet ein effizientes und präzises Ätzen von Merkmalen auf Substraten. Das System ist mit einer 3-achsigen X-Y-Bühne, einem Rack-Lift, einer Plattform und einem Rollturner ausgestattet. Die Bewegungsantriebe werden von Servomotoren angetrieben, um eine schnellere und ruhigere Bewegung zu ermöglichen. Es verfügt auch über eine SPS-Maschine mit angeschlossenem PC, die eine Fernüberwachung der Produktionsprozesse ermöglicht. Die X-Y-Stufe ermöglicht eine präzise und genaue Musterplatzierung sowohl für das Ätzen als auch für das Strippen. Mit seinem integrierten Dual-Tracking-Mechanismus können Benutzer Substrate in X-Y-Richtung genau scannen und verfolgen, um Funktionen vor dem Ätzen zu positionieren. Das Tool ist auch mit mehreren Ätz-/Stripping-Quellenauswahlen ausgestattet, einschließlich Ethernet- und Ozonquellen, die einen höheren Durchsatz und effizientere Prozesse ermöglichen. TEL TELINDY Plus A-M verfügt zudem über ein komplett geschlossenes, hochmodernes Kammerdesign. Die Edelstahlkammer reduziert die Möglichkeit von Partikeln und anderen Verunreinigungen, was zu qualitativ hochwertigeren, reproduzierbaren Ergebnissen führt. Die Kammer ist mit 20 Stationen Präzisionsmaschinen für eine verbesserte Steuerung des Ätz- und Abisolierprozesses ausgestattet. Die Anlage verfügt zudem über ein Querschnittsbildmodell und eine Substratprüfanlage, die eine Echtzeitüberwachung von Ätz- und Strippprozessen ermöglicht. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus A-M ist für maximale Produktivität bei hoher Funktionalität ausgelegt. Das System verfügt über integrierte Höhenmessung, fortschrittliche Bewegungssteuerung und eine Substratbeladeeinheit, die Fehler bei Transport und Substratbelastung reduziert. Es hat auch Multi-Site-Prozesssteuerung für einfache Verarbeitung und verbesserte Reproduktionsgenauigkeit. Zusätzlich ist die Maschine mit einem integrierten Gaswäscher für verbesserte Sicherheit und vollständige Integration von Steuerungssystemen ausgestattet. Abschließend ist TELINDY Plus A-M ein Ätz-/Ascherwerkzeug, das für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Die Anlage umfasst fortschrittliche Funktionen und Technologien wie eine 3-Achsen-X-Y-Stufe, ein Rack-Lift-Modell, eine Querschnittsabbildungsausrüstung und ein Substratinspektionssystem. Seine Höhenmesseinheit, fortschrittliche Bewegungssteuerung und integrierter Gaswäscher ermöglichen einen effizienteren und genaueren Ätz-/Strippprozess. Mit ihrem fortschrittlichen Design und den integrierten Funktionen bietet die Maschine Anwendern eine zuverlässige Lösung für IC-Fertigungsprozesse.