Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293597784 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K ist eine Art Ätzer oder Ascher, die für verschiedene Dünnschichtabscheidungs- und Verarbeitungstechniken verwendet wird. Es wird hauptsächlich bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet. TEL TELINDY Plus ALD High-K ist mit einer hochstabilen und wiederholbaren Rezeptmanagement-Ausrüstung ausgestattet, die eine Reproduzierbarkeit im Prozess ermöglicht. Der Ätzer verfügt zudem über eine geringe Partikelanzahl, die eine saubere Herstellung gewährleistet. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K ist ein umfassendes System zur Dünnschichtabscheidung und -ätzung. Es hat Vakuum-Kompatibilität bis zu 1,3x10-6 Torr und verfügt über eine Multi-Wafer-Batch-Einheit. Der Ätzer ist auch mit einer Mehrkammermaschine ausgestattet, die sequentielle Bearbeitungs- und Abscheidungstechniken mit verbesserter Produktivität und Lieferung durchführen kann. Das Tool enthält auch mehrere Quelllinien. Eine induktiv gekoppelte Plasma (ICP) -Quellenleitung ermöglicht direkte Plasmaprozesse wie Ätzen, Aschen und Abscheiden. Die magnetische Leitungsquelle hat auch eine reaktive Ionenätzfähigkeit (RIE). Die Kammer weist eine rezeptgesteuerte programmierbare Temperaturkammer auf, die für die Ultrahochvakuumverarbeitung ausgelegt ist. Die Kammer weist auch verschiedene Sicherheitsmerkmale auf, wie O2- und H2-Sensoren, eine Reaktionskammer-Verriegelungsanlage und Produktionsstopp während der Verschmutzung. Das Modell weist ferner eine Datenerfassungseinrichtung auf, die es ermöglicht, Waferbearbeitungs- und Abscheidungsergebnisse zu erfassen. TELINDY Plus ALD High-K ist ein zuverlässiges Ätzsystem, das sich effektiv und effizient in jede Produktionslinie für Halbleiterbauelemente integrieren lässt. Es ist ein vielseitiges Werkzeug, das für verschiedene Ätz-, Asche- und andere Dünnschichtabscheidungsaufgaben verwendet werden kann. Es verfügt über eine robuste Infrastruktur und Sicherheitsfunktionen, die eine saubere und effiziente Produktion gewährleisten.