Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #293665667 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K
ID: 293665667
Vertical diffusion furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K Ätzer/Ascher ist eine hochmoderne Ausrüstung zur Herstellung hochwertiger Dünnschichtbeschichtungen und Leiterbahnen auf Halbleitersubstraten. Es verwendet plasmaverstärkte Atomschichtabscheidung (ALD), um High-K-Materialien - Materialien, deren Dielektrizitätskonstanten die von Siliziumdioxid (SiO2) überschreiten - auf Substraten abzuscheiden. TEL TELINDY Plus ALD High-K System ist eine vollwertige Ätzeinheit, die sowohl Strukturierung als auch Ausdünnung von Folien in einem Schritt ermöglicht. Der Ätzer ist für den Einsatz mit High-K-Folien konzipiert, die nicht in einer herkömmlichen Trockenätzmaschine verwendet werden konnten, sondern nun mit TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K gemustert und geätzt werden können. Der Ätzer verfügt über eine große Prozesskammer mit fortschrittlicher Ätz- und Abscheidehardware sowie ein intelligentes Prozesssteuerungswerkzeug, das eine präzise Prozessüberwachung und -steuerung ermöglicht. Die Prozesskammer ist aus Edelstahl gefertigt und kann jeden Prozessparameter sicher und effektiv steuern, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Die Anlage verfügt auch über fortschrittliche Optik- und Diagnosegeräte, einschließlich eines digitalen Bildgebungsmikroskops, mit dem Benutzer den Dünnschichtabscheidungsprozess genau im Auge behalten können. Der Ätzer wird von einem proprietären Prozessgasfördermodell angetrieben, das eine präzise Kontrolle der Abscheiderate, Filmdicke, Gleichmäßigkeit und anderer wichtiger Parameter ermöglicht. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Materialien abzuscheiden, wie Siliziumdioxid, Aluminiumoxid, Tantaloxid und Titannitrid, unter anderem. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Vielzahl von Substraten kompatibel, darunter Silizium, Galliumarsenid, Low-K-Dielektrika und Kunststoff. Neben seinen Ätzfähigkeiten bietet TELINDY Plus ALD High-K Ätzer/Ascher auch Beschichtungs- und Passivierungsmöglichkeiten. Es ist mit fortschrittlicher Ablagerungssoftware ausgestattet, mit der Benutzer verschiedene Prozessrezepte für verschiedene Prozesse auswählen können. Die Software ermöglicht es Anwendern auch, Prozesse zum Ätzen und Ablegen schnell zu erstellen und zu speichern, sodass sie je nach Anforderungen des Auftrags schnell zwischen Prozessen wechseln können. Darüber hinaus sorgen die erweiterten Sicherheitsfunktionen des Systems, einschließlich Ionenstrahl-Scanner und Foup Cleaner, dafür, dass das Gerät sicher und zuverlässig für die Lebensdauer des Werkzeugs läuft. Insgesamt ist TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K Ätzer/Ascher ein leistungsstarkes und zuverlässiges Werkzeug für die Hochk-Folienbearbeitung. Der Ätzer/Ascher bietet eine Präzisionssteuerung des Abscheidungsprozesses sowie eine Vielzahl von Materialien und Substraten zum Ätzen und Abscheiden und ist damit eine ideale Wahl für fortgeschrittene Halbleiterforschung und -entwicklung.
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