Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K #9128140 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K ist ein Ätzer/Ascher für fortgeschrittene Ätz- und Ascheprozesse. Es ist für Materialien wie Low-K-Oxide, High-K-dielektrische Stacks und Line-Space-Strukturierung konzipiert. Es ist eine komplette Ausrüstung, die sowohl das Ätzen als auch das Aschen mit fortschrittlicher Prozesssteuerung kombiniert, um eine schnellere und präzisere Verarbeitung zu erreichen. TEL TELINDY Plus ALD High-K-System verfügt über eine einzigartige Parabol-Mikroofen-Einheit, die in der Lage ist, eine extrem breite Palette von Prozesstemperaturen, die bei hohen Temperaturen optimiert ist, um hohe Ätz- und Ascheraten zu bieten. Die Maschine ist auch mit fortschrittlicher Prozesssteuerung ausgestattet, um eine bessere Gerätetoleranz und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es verfügt über mehrere Automatic Process Sequencer (APS), die verwendet werden können, um schnell erforderliche Prozesse zu programmieren und die Vielseitigkeit und Flexibilität des Tools zu erweitern. Es hat auch zwei unabhängige, hochempfindliche Quarzkristallmassenmonitore und Oxidizing-Reduction (OR) -Ätzsteuerung, um eine hohe Prozesswiederholbarkeit und -gleichmäßigkeit zu gewährleisten. Die Anlage verfügt auch über fortschrittliche Kontamination Control Mechanism (CCM), um die höchste Reinheit der Wafer zu erhalten. Der CME-Prozess ist eine einzigartige Reihe proprietärer Technologien, um eine schnelle Erholung zu verhindern und eine hohe Plasmasauberkeit während des Prozesses zu erhalten. Es hat auch ein patentiertes offenes Rohrdesign und eine Gasdusche, um Kontaminationen und Chemikalien zu minimieren und gleichzeitig die Prozessleistung zu verbessern. Das Modell verfügt zusätzlich über eine hochintegrierte Vakuumausrüstung, die aus der Hochleistungs-Hauptpumpe, der Sekundärpumpe, der Turbo-Molekularpumpe und den Vakuum-Schaltventilen besteht, die alle für Hochleistungsbetrieb und minimale Verschmutzung ausgelegt sind. Es verfügt zudem über ein automatisiertes Partikelmesssystem, das die Partikelgröße an verschiedenen Stellen im Prozessbereich überwachen, messen und protokollieren kann. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD High-K-Einheit ist entworfen, um zuverlässiges, wiederholbares Ätzen und Aschen für fortgeschrittene Geräteherstellung zu bieten. Es eignet sich für zwei Zoll und größere größere Durchmesser mit Ätz-/Aschegeschwindigkeiten bis zu hohen Geschwindigkeiten sowie für Low-K-Oxid-, High-K-Dielektrikumstapel und Line-Space-Strukturierung mit hoher Prozesswiederholbarkeit und Gerätetoleranz auf Waferebene. Mit seinem einzigartigen Leistungsspektrum ist es ein idealer Ätzer/Ascher für viele erweiterte Geräteherstellungsanwendungen.