Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293638697 zu verkaufen
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TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher von TEL (TE). Es handelt sich um eine hochmoderne Vorrichtung zur Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer und optischer Komponenten. TEL TELINDY Plus ALD regt Atome mit exotischen Partikeln an und modifiziert diese chemisch. Dieses Verfahren entfernt oder „ätzt“ Material von der Oberfläche des Chips, das dann für den Schichtneubau wiederverwendet wird. Die resultierenden dünnen Filme können für eine Vielzahl von elektronischen und photonischen Anwendungen verwendet werden. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD-System verwendet mehrere fortschrittliche Ätz-/Abscheidungstechnologien. Die CVD-Kammer (Chemical Vapor Deposition) gehört zu den Schritten des TELINDY. Diese verdampft Dampfphasenvorläufer und legt die reaktiven Spezies unter Bildung dünner und gleichmäßiger Filme auf das Substrat ab. Die Kammer ist mit hochpräzisen Rollläden und Filtern ausgestattet, die eine präzise Ätzung der gewünschten Bereiche ermöglichen. Das Elektronenstrahl-Cluster-Tool liefert hochauflösende Muster mit guter Konformität für hohe Seitenverhältnisse und Materialien hoher Dichte. Dieses Werkzeug trifft einen dichten Elektronenstrahl auf das Substrat und leitet die Elektronen dann zum Ätzen, Formen oder Entwickeln des Merkmals. Die physikalische Aufdampfkammer (PVD) ist ebenfalls Teil der TELINDY Plus ALD Technologie. PVD wird verwendet, um vertikal komplexe Strukturen zu bauen. Diese Kammer enthält eine Verdampfungsquelle, einen Schild und eine inerte Atmosphäre, um das gewünschte Material auf dem Substrat abzuscheiden. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD verwendet auch eine Vielzahl von Sputtertechniken, um Strukturen zu ätzen, abzulegen und zu replizieren. Die Techniken verwenden eine Reihe von physikalischen oder chemischen Sputterprozessen, um Halbleitermaterial auf dem Chip zu ätzen, abzulegen und zu replizieren. TEL TELINDY Plus ALD Ätzer/Ascher ist ein unglaublich leistungsstarkes, präzises Prozesswerkzeug. Es ist der perfekte Ätzer/Ascher, um die fortschrittlichsten mikroelektronischen und photonischen Komponenten zu fertigen, da die höchsten Präzisionskomponenten und Prozesse verwendet werden. Mit seiner kompletten Palette von Ätz-, Abscheide- und Sputterprozessen ist diese Maschine in der Lage, Produkte und Ergebnisse von höchster Qualität zu produzieren.
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