Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818326 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD (Atomic Layer Deposition) ist eine robuste Ätzausrüstung, die eine Reihe von Halbleiterverarbeitungsfunktionen für Anwendungen auf Wafer- und Geräteebene bietet. Es ist hochintegriert mit einer breiten Palette von Komponenten wie Degaskammer, Suszeptor, Lastverschluss, End-Effektor-Roboter, Mehrkammer-Duschkopf, Reaktionskammer und Mini-Umgebungsmodule. Dieses System wird für Anwendungen wie Materialabscheidung, reaktives Ionenätzen, thermisches Glühen und schnelles thermisches Glühen verwendet. TEL TELINDY Plus ALD bietet überlegene Ätzgleichmäßigkeit und hervorragende Prozesswiederholbarkeit auf jeder Dicke des Substrats unabhängig von der Wafergröße. Diese Einheit verfügt über eine geschlossene Temperaturregelung, so dass die Temperatur bei kritischen Ätzvorgängen genau geregelt werden kann. Es bietet eine große Batch-Bearbeitungsfläche, die große Wafer und Großserienproduktion aufnehmen kann. Darüber hinaus ermöglicht der integrierte mehrstufige Ätzprozess eine komplexere Strukturbildung für einen fortschrittlichen Herstellungsprozess. Neben seinen leistungsstarken Ätzfähigkeiten bietet TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD auch gut entwickelte und zuverlässige Software-Tools. Es bietet integrierten Rezeptmanager mit offener Ausführungssteuerung, einen integrierten mehrstufigen Prozess, Echtzeit-Ofenmaschinenüberwachung und verbesserte Gaslieferungsüberwachung. Mit diesem Tool können Prozessingenieure den Ätzprozess leicht optimieren, um einen höheren Durchsatz bei minimalen Ausfallzeiten zu erreichen. TELINDY Plus ALD wurde auch entwickelt, um qualitativ hochwertige Ätzergebnisse zu liefern. Es ist in der Lage, Nanometer-Dickschichtätzprozesse zu erzeugen. Darüber hinaus verfügt es über eine optionale Hochleistungs-Hochfrequenzenergiequelle (RF), die ein Hochfrequenzätzen ermöglicht. Die Anlage ist auch mit fortschrittlicher Lasersteuerung für Präzisionssubstratätzungen ausgestattet. Darüber hinaus enthält es einen einzigartigen Frequenzumsetzungsregler, mit dem mehrere verschiedene Ätzfrequenzen unisono betrieben werden können. Insgesamt bietet TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD eine hervorragende Ätzlösung für jeden Wafer- oder Device-Level-Prozess. Mit seinen umfassenden Software-Tools und erweiterten Verarbeitungsfunktionen bietet dieses Modell eine zuverlässige und leistungsstarke Ätzlösung für Forschung und Fertigung. Die Präzisionsätzsteuerung, der Hochfrequenzätzprozess und die qualitativ hochwertigen Ätzergebnisse machen es zu einer idealen Wahl für alle Anwendungen auf Branchenebene.