Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD #293818328 zu verkaufen

TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD
ID: 293818328
Vertical furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD (Atomic Layer Deposition) ist eine Art Präzisionsascher, der typischerweise zur Synthese dünner Filme aus Metallen, Oxiden, Nitriden und anderen Materialien verwendet wird. Dieser Ätzer wird hauptsächlich in der Nanotechnologie und mikroelektronischen Anwendungen eingesetzt, wo seine Fähigkeit, hochwertige, nanometerdicke Beschichtungen zu schaffen, oft sehr vorteilhaft ist. TEL TELINDY Plus ALD arbeitet mit einem Prozess der sequentiellen gasphasenchemischen Reaktion auf einer Substratoberfläche, was zu einer stark erhöhten Kontrolle der Filmdicke und Gleichmäßigkeit führt. Dieser Prozess ermöglicht die Erstellung komplexer dreidimensionaler Strukturen, die auf spezifische Anwendungen zugeschnitten sind. Ein typischer Systemaufbau besteht aus zwei Quellmodulen, einer Förderkammer und einem Substrathalter. Die Sourcemodule des TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD Systems enthalten einen Einlass, eine Reaktionskammer, Durchflussregelventile und Temperatur/Druck-Sensoren. Jedes Modul enthält bis zu 32 Chemikalien und kann für gleichzeitige Mehrprozessanwendungen unabhängig betrieben werden. Die Förderkammer dient zur Steuerung der Reaktantgase und zum Substrat. Diese Kammer ist mit einem Massenstromregler, einem Vakuummesser und einer Reihe von Gasleitblechen ausgestattet, die dazu beitragen, dass die Prozessgase das Substrat mit dem richtigen Druck und Gleichmäßigkeit erreichen. Der Substrathalter ermöglicht eine präzise Temperaturregelung des Substrats und ist in der Z-Ebene beweglich, so dass Proben beidseitig beschichtet werden können. Der Probenhalter wird in der Regel durch eingebettete Heizungen mit Wärmedämmung erwärmt, um den Temperaturverlust zu minimieren. Durch Steuerung der gleichzeitigen Abgabe der Vorläuferverbindungen kann TELINDY Plus ALD eine Probe mit einem extrem gleichmäßigen, monoschichtdicken Film beschichten. Der Prozess ist abgeschlossen, wenn diese Vorläufermoleküle auf der Oberfläche miteinander reagieren, was zur Herstellung einer extrem dünnen, sehr gleichmäßigen Beschichtung führt. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ALD Ätzer ist ein präzises und zuverlässiges Werkzeug, mit dem Benutzer eine Vielzahl von Substraten mit präzisen, nanometerdicken Filmen beschichten können. Mit seiner präzisen Steuerung der Prozessgrößen und seiner hohen Gleichmäßigkeit der Beschichtung liefert dieser Ätzer präzise Ergebnisse. Dieses Gerät eignet sich am besten für Nanofabrikationsanwendungen, die präzise und gleichmäßige Schichten erfordern.
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