Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus anneal #293638716 zu verkaufen

TEL TELINDY Plus Annealing (TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher) ist eine hochpräzise Ätz-/Ascheeinheit zur Eliminierung von Restphotoresist auf nanoskaligen Substraten. Es wird hauptsächlich für Anwendungen in der Halbleiter-, MEMS und anderen mikroelektronischen Industrien verwendet. Dieses Gerät ist mit dem fortschrittlichen TELINDY Plus Controller mit einem LCD Touch Panel mit großer Kapazität ausgestattet. Dadurch kann der Benutzer viele Prozessparameter präzise konfigurieren. Dieser Regler ermöglicht eine einfache Einrichtung und Kalibrierung der chemischen Ätzzeit und -konzentrationen sowie die Steuerung der Temperatur und des Drucks im Chemiebehälter, die auf optimale Effizienz eingestellt werden können. TEL/TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher verwendet fortschrittliche Technologie, die überlegene chemische Ätzraten bietet und gleichzeitig den Materialverlust reduziert. Dadurch können feine Merkmale wie kleine Gräben, Linien und Kontakte mit großer Genauigkeit geätzt werden. Außerdem liefert die Einheit gleichbleibend gleichmäßige Ätzergebnisse mit hoher Wiederholbarkeit. Es eignet sich für Nassätzprozesse wie RIE, ECR und ICP-Ätzprozesse sowie für Trockenätzprozesse wie DRIE, ECR-DRIE und ECR-ICP-Ätzprozesse. Es ist auch in der Lage, Glühbehandlungen anzuwenden, um die Haftung von Materialien auf Wafern während des Prozesses zu verbessern. Das Gerät ist auch mit einem fortschrittlichen Pol-Pol Schrubber ausgestattet. Dies reduziert die Abfallerzeugung während des Ätzprozesses, indem die Chemikalie aus dem Tank gewonnen und wieder in Umlauf gebracht wird. Darüber hinaus verfügt TEL/TE Tangential Etcher/Asher über ein Kühlsystem, das das chemische Gemisch für mehr Sicherheit im Betrieb kühlt und chemische Zersetzung verhindert. TOKYO ELECTRON/TE Tangential Etcher/Asher verfügt über eine separate Vakuumeinheit, die zur Beseitigung unerwünschter Prozesse wie Dampfätzen nützlich ist. Es weist außerdem einen Wirbelstromsensor auf, der Substrate während des Ätzvorgangs erfassen und die Ätztiefe genau messen kann. Diese Präzision sorgt für konsistente Ergebnisse und verbessert die Prozessausbeute. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer Bordalarmmaschine ausgestattet, die vor Störungen warnt. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Annealing (TEL/TE Tangential Etcher/Asher) ein Hochleistungs-Ätz-/Aschewerkzeug, das eine präzise Steuerung kritischer Prozessparameter und ausgezeichnete Ätzraten ermöglicht. Mit seiner fortschrittlichen Technologie ist es in der Lage, eine Vielzahl von Substraten und Materialien zu ätzen, und seine eingebauten Mechanismen helfen, die Abfallerzeugung zu reduzieren und die Qualität der Ergebnisse zu verbessern.