Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K #9253810 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9253810
Weinlese: 2014
Furnace
Wafers: 100
Pressure control: APC Valve
Process gas:
AMPLE System: NxTi
TMA: F.S 500 Sccm
O3: F.S 20 Slm, 200 g/m3
N2
Octane
Vaporizer:
STEC (TMA, NXTi)
LSC-F530 (TMA)
STEC Z500 Series MFC (Mass Flow Controller)
Process temperature: 200° to 300°
2014 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K ist ein Ätzer/Ascher, der für die Herstellung und Wartung elektronischer Komponenten verwendet wird. Es wurde speziell für High-K-Prozesstechnologien entwickelt und ist in der Lage, die kritischsten Funktionen in den fortschrittlichsten integrierten Schaltungsdesigns zu produzieren und zu erhalten. TEL TELINDY Plus High-K verfügt über eine einzigartige Dual-Plasma-Technologie, so dass die Geräte ein einheitlicheres Ätzmuster liefern können. Sein Hochleistungs- und Hochfrequenzplasmagenerator bietet eine stabile und zuverlässige Ätzleistung und eignet sich somit für die Produktion und Wartung von High-K-Gerätestrukturen. Darüber hinaus ist der Ätzer mit integrierten Controllern ausgestattet, die eine verbesserte Prozessstabilität und erweiterte integrierte Funktionen bieten, um einen präzisen Ätzbetrieb zu gewährleisten. Das System verfügt über ein für die Prozessskalierbarkeit optimiertes Design mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Wafergrößen zu unterstützen. Es bietet auch eine breite Palette von Substratmaterialien, einschließlich Aluminium, Polysilizium, Galliumarsenid, Indiumzinnoxid, Silizium-on-Isolator und tiefe Gräben, so dass das Ätzgerät für alle Arbeiten mit High-K-Prozessen geeignet ist. Es verfügt auch über eine einfache, intuitive Benutzeroberfläche, so dass Sie das Gerät mit einfachem Drag & Drop konfigurieren können. Die Maschine ist auch mit fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die Bedienersicherheit in allen wichtigen Schritten, einschließlich des Ladeprozesses, sowie zuverlässige Wartung und Werkzeugupgrades ermöglichen. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus High-K bietet modernste Ätztechnologie. Sein effizienter und zuverlässiger Betrieb macht es ideal für die fortschrittlichsten High-K-Prozessanwendungen und bietet eine vollständige Vielseitigkeit für Substratkompatibilität und Prozessskalierbarkeit. Seine intuitive Benutzeroberfläche und erweiterte Sicherheitsfunktionen machen es zu einem wertvollen Kapital für die Erfüllung aller Ihrer Produktions- und Wartungsanforderungen.
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