Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide #293822431 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxide ist ein fortschrittliches Ätzgerät/Ascher entwickelt, um Hochleistungs-Plasmaätzen einer Vielzahl von Materialien zu bieten. Das Gerät verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP), um ein hochdichtes Plasma zu schaffen, das eine breite Palette von Substraten wie SiN, Polyimid, TiN, SiO2 und SiON verarbeiten kann, sowohl mit hoher Geschwindigkeit als auch mit geringem thermischem Budget. Das System verfügt auch über erweiterte Computersteuerungsfunktionen, einschließlich eines programmierbaren EPD-Algorithmus (End Point Detection), um konsistente Ätzprozessparameter über mehrere Substrattypen hinweg sicherzustellen. TEL TELINDY Plus IRAD Oxide verfügt über eine Mikrowellenleistungs-Steuereinheit, die eine direkte Modulation der ICP- und HF-Leistungspegel zur präzisen Regelung der Plasmadichte und Ätzdauer ermöglicht. Dadurch wird ein exakt kontrolliertes Ätzen mit einem maximalen Durchsatz von bis zu 180 Substraten pro Stunde gewährleistet, was es zu einer hochproduktiven Lösung macht. Die Ätzkammer enthält eine große Anzahl von Turbopumpen und einen integrierten Turbopumpbypass, der eine schnelle Zykluszeit des Prozesses ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über eine integrierte Wafer-Kühlmaschine, um thermische Schäden zu minimieren und die Ätzgenauigkeit zu erhalten. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus IRAD Oxid ist in der Lage, durch eine breite Palette von Dicken und Materialien zu ätzen, einschließlich Metalle, Nitride, Oxide, Kunststoffe und Polymere. Die erweiterten Programmier-/Diagnosefunktionen ermöglichen die Fernüberwachung und automatische Optimierung des Ätzprozesses und sorgen für maximale Produktivität. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit mehreren Gasen kompatibel, einschließlich N2, Ar, O2 und SF6, wodurch vielfältige Ätzfähigkeiten ermöglicht werden. Die Ätzrezepte werden zur einfachen Rückruf- und Wiederholbarkeit gespeichert und können zur weiteren Anpassung mit der TELINDY Controller-Software verknüpft werden. Insgesamt ist TELINDY Plus IRAD Oxide ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der für schnelles, konsistentes und genaues Ätzen auf einer Vielzahl von Substraten entwickelt wurde. Seine erweiterten Funktionen und automatisierten Programmierfunktionen sorgen für hochwertige, wiederholbare Ätzergebnisse mit einer beeindruckenden Geschwindigkeit von bis zu 180 Wafern pro Stunde.