Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Nitride #9243663 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Nitrid (TEL/TENP) ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der speziell für das Ätzen und Entfernen von Nitridfilmen entwickelt wurde. Es nutzt gepulste Mikrowellen-Plasma-Technologie, zusammen mit fortschrittlicher Prozesssteuerungssoftware, um präzise Prozesssteuerung und Präzisionsätzen sowie eine extrem schnelle Prozesszykluszeit zu liefern. TOKYO ELECTRON/TENP verfügt über eine hochpräzise Ätzkammer, die eine Vielzahl von Substratgrößen und -formen aufnehmen kann. Es verwendet ein gepulstes, reaktives Ionenätzverfahren (RIE), um Nitridfilme aus dem Substrat zu ätzen oder zu entfernen. Die fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und ermöglicht eine Vielzahl von Ätzverarbeitungsbedingungen. Die fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware ermöglicht auch die Optimierung von Verarbeitungsbedingungen, was zu einer viel schnelleren Ätz- und Aschegeschwindigkeit sowie zu einer verbesserten Gesamtprozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit führt. TEL/TOKYO ELECTRON/TENP ätzt Filme bei niedriger HF-Leistung und entfernt Nitridfilme mit einer Dicke von bis zu 15-50 Nanometern. Der Ätzprozeß wird bei verschiedenen Temperaturen, wie Raumtemperatur, niedrigen Temperaturen sowie heißen Temperaturen durchgeführt. Darüber hinaus verfügt TEL/TENP auch über eine einzigartige Prozesskammerdruck- und Temperaturregelung. Dazu gehört ein automatisiertes Druckregelsystem, das den Druckabfall in der Kammer kompensiert, sowie ein Temperaturregelsystem, das die möglichen Temperaturschwankungen minimiert. TOKYO ELECTRON/TENP verfügt über fortschrittliche Funktionen wie ein automatisiertes Stickstoffkontrollsystem, das eine präzise Steuerung der Stickstoffkonzentration in der Ätzkammer ermöglicht. Damit kann die Ätz- und Ascheleistung optimiert werden. TEL/TOKYO ELECTRON/TENP verfügt auch über eine fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, mit der alle Geräteparameter während der Prozessausführung überwacht und gesteuert werden können. Darüber hinaus bietet die fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware auch Funktionen zur Selbstdiagnose, Rezeptverwaltung und Prozessprotokollerfassung und -vorhersage. TEL/TENP ist ein extrem vielseitiger Ätzer/Ascher, der sich ideal für die unterschiedlichsten Anwendungen und Branchen eignet. Dazu gehört das Ätzen und Entfernen von Nitridfilmen und anderen Dielektrika auf Halbleiterscheiben, Solarzellen, MEMS und anderen Komponenten. Als Ätzer/Ascher ist TOKYO ELECTRON/TENP ideal für die Beseitigung von Ätzhindernissen, die Verfeinerung der Seitenwandstruktur, die Verbesserung der dielektrischen Gleichmäßigkeit und das präzise Ätzen und Aschen. TEL/TOKYO ELECTRON/TENP ist auch sehr zuverlässig und einfach zu bedienen und zu warten. Damit ist es die perfekte Wahl für eine Vielzahl von Branchen und Anwendungen.