Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293640860 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist eine Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die für die Herstellung von Halbleiter- und verwandten Bauelementen verwendet wird. Das System dient zum Trockenätzen von Metallschichten, Oxidschichten und anderen Materialien. Es ist der fortschrittlichste Trockenätzer/Ascher für die Halbleiterverarbeitung und bietet eine breite Palette von Technologien wie Plasmaätzen, chemisches Ätzen, Reaktiv-Ionen-Ätzen (RIE), induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) Ätzen sowie Metallätzen, das in Kombination mit naßchemischem Ätzen verwendet werden kann. TEL TELINDY Plus ist eine maßgeschneiderte Maschine mit vollen Automatisierungsfunktionen und kann ganz einfach spezielle Prozessanforderungen erfüllen. Es verwendet eine modulare Werkzeugarchitektur, um das Potenzial seiner Fähigkeiten zu maximieren. Das Asset wurde entwickelt, um geringe Ausfallzeiten zu gewährleisten und Prozesskonsistenz zu gewährleisten. Sein benutzerfreundliches Steuerungsmodell verfügt über Fernüberwachungs- und Steuerungsfunktionen, mit denen Benutzer den Prozess von einem lokalen oder entfernten Standort aus überwachen können. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Ausrüstung ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien wie Metalle, Oxide, Polymere, Nitrid und Dielektrika zu handhaben. Das System eignet sich für die Prozessentwicklung und die Serienfertigung und verfügt über einen geschlossenen Prozess, der die Ätzrate während eines Prozesslaufs messen und die Prozessparameter entsprechend anpassen kann. Die Einheit weist ferner einen einstellbaren Substrattemperaturregler zur Steuerung der Ätzprozesstemperatur auf. Die Maschine ist mit einer Vielzahl von Prozessspezialkomponenten ausgestattet, um verschiedene Ätzanforderungen zu erfüllen. Es umfasst Funktionen wie ein Hochdruck- und Niedertemperaturätzwerkzeug, ein tief reaktives Ionenätzgerät, ein tiefes Via-Modell, eine Sputterausrüstung, eine Ionenimplantationsausrüstung und ein Substrat-Vor- und Nachmesssystem. Alle diese Systeme sind so konzipiert, dass sie die höchste Prozesswiederholbarkeit gewährleisten und eine einfache Einrichtung, Bedienung und Wartung ermöglichen. Neben dem Ätzprozess bietet die TELINDY Plus-Einheit auch mehrere weitere Dienstleistungen wie Sublimation, Sputtern, Vor- und Nachmesstechnik, Ionenimplantat, Naßchemische Ätzung und zerstörungsfreie thermische Behandlungen an. Es ist eine sehr vielseitige Maschine, die für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen und -prozessen eingesetzt werden kann. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus Werkzeug ist eine zuverlässige, ertragreiche Trockenätzer/Ascher-Asset, das gebaut wird, um die anspruchsvollsten Umwelt- und Prozessanforderungen zu erfüllen. Die modulare Modellarchitektur bietet Anwendern ein breites Spektrum an Möglichkeiten für die Halbleiterverarbeitung und ermöglicht es ihnen, die Geräte auf ihre spezifischen Bedürfnisse abzustimmen.