Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #293778315 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist eine automatisierte Waferätzmaschine von TEL. Diese vielseitige Maschine eignet sich für mehrstufige Photolackätzprozesse aller Arten von Wafern und Dünnschichtmustern. TEL TELINDY Plus ist für die Photolithographie konzipiert und eignet sich für eine breite Palette von Wafergrößen von 10 mm bis 8 Zoll Wafern mit Substrattemperaturen von Raumtemperatur bis über 250 ° C. Es ist mit einem fortschrittlichen Plattensystem ausgestattet, das eine präzise Ausrichtung zwischen Wafern und dem Ätzobjektiv und Kamerasystem ermöglicht. Die Linsen weisen eine Immunität gegen hohe Temperaturen auf und weisen geringe Aberrationen auf, die gleichmäßige, schmuddelfreie Ätzergebnisse liefern. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus verfügt über automatisierte Prozesse für Ätz-, Spot- und Reinigungsvorgänge. Es verwendet einen computergesteuerten Ätzkopf, der sich zu bestimmten Punkten im gesamten Wafer bewegt, um ein genaues Fotoresist-Bildmuster zu erstellen. Es ist auch eine elektrolytische Ätzkammer enthalten, die einen Plasmaätzprozess ermöglicht, der beim Ätzen von Feinstrukturen mit begrenzter Datenverzerrung von Vorteil ist. Dieses Verfahren verbessert auch die Ätzgleichmäßigkeit des Resists. TELINDY Plus ist sehr benutzerfreundlich und einfach zu bedienen. Es verfügt über eine einfache grafische Benutzeroberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, den Prozess einfach einzurichten und zu überwachen. Der Bildschirm zeigt alle Betriebsparameter an und bietet Hilfefunktionen zur einfachen Fehlerbehebung. Darüber hinaus verfügt es über zwei Waferkassettenträger, die bis zu 8 Zoll Wafer aufnehmen können, um Rüstzeiten zu minimieren und eine parallele Verarbeitung größerer Substrate zu gewährleisten. Die Maschine verfügt auch über ein integriertes chemisches Managementsystem, das die Möglichkeit bietet, die Zusammensetzung, Menge und Qualität der im Ätzprozess verwendeten Chemikalien zu kontrollieren. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist eine großartige Maschine, die mit den neuesten Technologien in der Waferätzung ausgestattet ist. Mit seiner robusten Konstruktion ist es in der Lage, effizientes Ätzen mit verbesserter Zuverlässigkeit zu erreichen und die Stillstandszeiten des Herstellungsprozesses zu reduzieren. Mit seinem sicheren Betrieb, hohen Durchsatz und einfacher Bedienung ist diese Maschine die perfekte Wahl für alle Photolithographie-Anwendungen.