Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251690 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist eine von TEL hergestellte Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die von der Halbleiterindustrie zur Strukturierung einer Vielzahl von mikroelektronischen Bauelementen wie Waferbearbeitung, MEMS-Herstellung und Dünnschichtverkapselung verwendet wird. Es soll ein präzises Ätzen und Aschen von Substratmaterialien ermöglichen, um gewünschte Formen zu erzeugen. Das System besteht aus einer Steuerung, einer Ätzprozesskammer und einer Vakuumeinheit. Die Steuerung auf TEL TELINDY Plus Maschine stellt die notwendigen Benutzeroberflächen für die Einrichtung des Ätzprozesses und die Initiierung des Programms zur Verfügung. Der Controller verfügt über fortschrittliche Software-Algorithmen, die eine automatische Anpassung der Ätzparameter ermöglichen, wodurch Benutzer mehr Kontrolle und Flexibilität über den Prozess erhalten. Die Ätzprozesskammer ist eine Vollglaskammer, mit der das Substrat beim Ätzen und Aschen untergebracht wird. Die Kammer ist mit spezialisierten Gasfördersystemen, einer Ätzelektrode sowie Druck- und Temperatursensoren ausgestattet. Es wurde entwickelt, um eine hoch definierte Ätzumgebung bereitzustellen und einheitliche und konsistente Ätzergebnisse zu gewährleisten. Das Vakuumwerkzeug von TOKYO ELECTRON TELINDY Plus besteht aus einer Ionengetterpumpe und einer Drehflügelpumpe, die den notwendigen Vakuumspiegel für die Substratverarbeitung bietet. Das Modell verfügt auch über eine Turbopumpe, die die Aufrechterhaltung des Vakuumspiegels und Helfer bei der Wärmeübertragung aus den Ätzprozessen unterstützt. TELINDY Plus ist mit einer optisch transparenten Elektrode ausgestattet, mit der ein elektrisches Feld zum präzisen Ätzen und Aschen von Wafern erzeugt wird. Die Elektrode gewährleistet auch einheitliche und wiederholbare Ätzprofile. Das System ist mit einer Vielzahl von Gasen kompatibel und kann zur Durchführung unterschiedlicher Prozesse von Nassätzen bis Trockenätzen verwendet werden. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist eine zuverlässige und effiziente Ätz-/Aschermaschine, die sich ideal für Techniker in der Halbleiterindustrie eignet. Das Tool bietet eine fortschrittliche Automatisierung, präzise Ätzprofilierung und eine Vielzahl von Prozessoptionen, die es zu einer idealen Wahl für die Waferbearbeitung machen.