Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9251691 zu verkaufen
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ID: 9251691
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Vertical LPCVD furnaces, 12"
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist ein multifunktionaler Ätzer oder Ascher, der in Halbleiterproduktionsprozessen verwendet wird. Es ist ein Hochleistungsgerät, das verwendet wird, um Muster auf Halbleiterscheiben zu ätzen und einige der kompliziertesten Merkmale zu ätzen. Der Ätzer ist mit einer unabhängigen Mehrzonen-Präzisionstemperaturregelung mit einer maximalen Temperatur von 800 ° C ausgestattet. Die Temperaturregelung wird durch eine Kombination aus einer Gasplatte und einer Induktionsspule ermöglicht. Darüber hinaus hat das Plus ein einzigartiges schwimmendes Suszeptor-Design, das verwendet wird, um ein gleichmäßiges Ätzen über die Waferoberfläche zu gewährleisten. Der Suszeptor ist ein Tieftemperatur-Suszeptor, der keine Materialschäden verursacht. Die Ausrüstung ist zuverlässig und präzise und ermöglicht Prozesse wie flache Verbindungsbildung, Resiststreifen, Schadensbeseitigung und Waferreinigung. Es bietet auch eine enge Prozesssteuerung, da das System mit einer programmierbaren Endpunktüberwachungseinheit ausgestattet ist. Diese Maschine garantiert eine präzise Ätzung am definierten Endpunkt. Darüber hinaus verfügt es über ein fortschrittliches Sicherheitswerkzeug namens EPM (Etcher/Processor Module), das eine Sicherheitskontrolle des Ätzprozesses bietet. Der Ätzer ist auch benutzerfreundlich und ermöglicht eine schnelle Prozesseinstellung und eine einfache Bedienung mit einem Touchscreen-Display. Dies ist durch die integrierten Prozessrezepte möglich, die einfach anzupassen und zu optimieren sind. TEL TELINDY Plus ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascher-Asset, das in der Halbleiterproduktion verwendet wird. Seine einzigartige Temperaturregelung, Suszeptor-Design, Prozesssteuerung und Sicherheitsfunktionen ermöglichen präzise und zuverlässige Ätzprozesse. Darüber hinaus aktualisiert die benutzerfreundliche Oberfläche Techniker mit den Informationen, die sie benötigen, um effektive Prozessabläufe zu gewährleisten.
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