Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON TELINDY Plus #9313289 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus ist ein fortschrittlicher chemischer Ätzer/Ascher von TEL, der für die Verarbeitung von Halbleiterscheiben entwickelt wurde. TEL TELINDY Plus ist ein chemischer Dampfätzer/Ascher, der berührungslose Wartung verwendet, die den Austausch von Komponenten als Einheit beinhaltet, ohne den Ätzprozess stoppen zu müssen. Es verfügt auch über einen modularen Aufbau, so dass eine Vielzahl von Prozessrezepten verwendet werden können. TOKYO ELECTRON TELINDY Plus besteht aus einem Hauptkörper, einer Prozesskammer, einer Vakuumpumpe und einer Waferstufe. Der Hauptkörper befindet sich in der Waferstufe, Vakuumpumpe und Prozesssteuerung. Die Waferbühne ist eine Plattform, auf der der Wafer platziert wird, um geätzt oder gewaschen zu werden. Mit der Vakuumpumpe wird der Druck der Prozesskammer reduziert, um eine Vakuumumgebung zum Ätzen zu schaffen, um gleichzeitig mehrere Wafer gleichzeitig zu ätzen. Die Prozesssteuerung dient zur Steuerung und Überwachung des Prozesses von Anfang bis Ende sowie zur Änderung von Parametern zur Optimierung der Ätzleistung. TELINDY Plus verwendet chemische Dampfabscheidung (CVD), um eine dünne dielektrische Schicht auf dem Wafer abzuscheiden. Diese Schicht dient als Maske, um festzustellen, welche Muster oder Formen aus dem Wafer herausgeätzt werden. Beim Ätzprozeß wird der Wafer in einer Vakuumkammer einem chemischen Ätzmittel ausgesetzt, das das Material im gewünschten Bereich ablöst. Nach Beendigung dieses Prozesses wird der Kammer eine Reihe von hochreinen Gasen zugeführt, um das Ätzmittel zu waschen und den Wafer zu reinigen. TEL/TOKYO ELECTRON TELINDY Plus bietet Anwendern eine streng kontrollierte Umgebung für maximale Wiederholbarkeit und Prozesskontrolle. Es hat die Fähigkeit, die Temperatur, den Druck, die Drehzahl und das Gasgemisch genau einzustellen. So können Anwender den Prozess optimieren und maximale Ätzergebnisse erzielen. Es bietet auch hohe Gasströmungsgenauigkeit für präzise Gasförderung und Gleichmäßigkeit. TEL TELINDY Plus ist gut ausgestattet mit Sicherheitsfunktionen wie Drucksensoren, Leckagesensoren, Temperatursensoren mit Alarmfunktion und Überdruckabschaltung. Die intuitive Benutzeroberfläche ermöglicht es Benutzern, den Ätzprozess von Anfang bis Ende einfach zu überwachen und zu steuern. Darüber hinaus bietet TOKYO ELECTRON TELINDY Plus eine Vielzahl von Optionen für die Anpassung. Insgesamt ist TELINDY Plus ein fortschrittlicher chemischer Ätzer/Ascher. Es verfügt über die Fähigkeiten für präzises Ätzen und einheitliche Gaslieferung sowie erweiterte Sicherheitsmerkmale und Vielseitigkeit in der Anpassung. Es ist die perfekte Lösung für die Herstellung von Halbleiterscheiben.