Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM #9294211 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM ist ein automatisiertes Trockenätzgerät für hochwertige, leistungsstarke Ätzlösungen. Der Ätzer basiert auf der fortschrittlichen und bewährten Telius 305-Plattform, die seit vielen Jahren in verschiedenen Anwendungen eingesetzt wird. Das System nutzt proprietäre Elektronenstrahlheizungs- und Wasserstoffplasmaquellentechnologien, um Substrate aus verschiedenen Materialien wie Glas, Quarz, Silizium, Aluminiumoxid und anderen Keramiken gleichmäßig zu ätzen. Die Einheit eignet sich besonders zum Ätzen und Strukturieren von Halbleiterbauelementen mit hoher Präzision und Gleichmäßigkeit. Mit einer dreiachsigen Bühne und einem großen Waferdurchmesserbereich von 200mm bis 300mm kann der Ätzer eine Vielzahl von Substraten aufnehmen. Darüber hinaus kann die Telius 305 Plattform für verschiedene Prozesse wie Oxidätzen, Sputtern, Plasmaätzen und Tiefenätzen angepasst werden. Die Maschine nutzt eine verzögerte Reflexionsbetriebsart und einen Strahlaustragsimpuls, um eine gleichmäßige Strahlintensität zu gewährleisten und dadurch eine gleichmäßige Waferätzung zu gewährleisten. Es verfügt über hochmoderne variable Neigungsätzen und variablen Jittering, sowie variable elektrostatische Spannung. Zusätzlich ist das Werkzeug mit erweiterten Temperaturkontrollfunktionen ausgestattet, um genaue Ätzraten zu gewährleisten. TEL Telius 305 DRM wurde mit Prozesssteuerungs- und Datenerfassungsfunktionen entwickelt, um die Wiederholbarkeit und Genauigkeit der Parameter sicherzustellen. Das Asset kann Prozessrezepte speichern und ermöglicht es Benutzern, mehrere Rezepte für verschiedene Ätzanwendungen zu speichern, was eine einfache Prozessoptimierung ermöglicht. Das Modell verwendet auch einen schalungslosen optischen Strahlverschluss, um eine bessere Sichtbarkeit des Prozesses zu ermöglichen. Die Ausstattung ist sehr kompakt und erfordert minimalen Bauraum. Sein robustes Design ist gekoppelt mit einer digitalen Hochgeschwindigkeitssteuerung und leistungsstarken digitalen Servomotoren, so dass es zuverlässig und effizient ist. TOKYO ELECTRON Telius 305 DRM ist auch für einfache Wartung und hohe Betriebszeit konzipiert. Es bietet auch hohe Geschwindigkeit und hohe Durchsatzfähigkeit. Insgesamt ist Telius 305 DRM eine fortschrittliche, zuverlässige und effiziente Ätzeinheit, die sich für das hochpräzise und gleichmäßige Ätzen verschiedener Substrate eignet. Das robuste Design des Ätzers, erweiterte Temperaturkontrollfunktionen und Prozesskontroll- und Datenerfassungsfunktionen machen es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet.