Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM #293652091 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM ist ein fortschrittlicher Ätzascher, der bei der Herstellung integrierter Schaltungen verwendet wird. Es ist eine SCCM (Substrate Charge Control Module) Maschine, die eine präzise Kontrolle über die Substratladung ermöglicht. Diese Maschine wird bei der Verarbeitung von Substraten mit bis zu 300 mm Durchmesser eingesetzt und ist aufgrund ihrer geringen Teilekosten pro Halbleiterbauelement die ideale Lösung für fortgeschrittene Ätzascheranwendungen. Zu den Kernmerkmalen von TEL Telius 305 SCCM gehören seine elektrostatische Ladungssteuerung mit unabhängig einstellbarer Vorspannung an jedem Standort, ein automatisiertes Wafer-Handling-Equipment und seine Fähigkeit, Substrate mit bis zu 300 mm Durchmesser zu verarbeiten. Diese Maschine ist mit zwei Plasmaquellen, einer Ladekammer und einer umfangreichen Computersteuerung ausgestattet. Die Ladekammer ermöglicht einen einfachen Waferaustausch ohne große Stillstandszeiten und die Plasmaquellen ermöglichen ein präzises Ätzen der Substrate. Darüber hinaus sind die dualen Plasmaquellen so ausgelegt, dass ein gleichmäßiges Ätzen des Substrats gewährleistet ist. Die Rechnersteuerung ermöglicht eine präzise Prozessüberwachung und Einstellung der Ätzparameter. TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM ist für Hochleistungsanwendungen konzipiert und zeichnet sich in der Ätzascherindustrie aus. Es verfügt über eine Hochgeschwindigkeitsätzzeit von 5 Minuten und eine Durchsatzrate von bis zu 450 Substraten pro Stunde. Diese Maschine ist in der Lage, Substrate bis zu 125 μ m dick zu verarbeiten und ist sowohl in der Flach- als auch in der Rundheitsmessung präzise und in der Lage, Impulsätzen und Ionenstrahlübertragung zu ätzen. Die Optionen für Ätzverfahren werden je nach Wafertyp angepasst. Telius 305 SCCM umfasst mehrere Sicherheitsfunktionen wie Not-Aus-Taste, Zwei-Ebenen-Sicherheitsverriegelungen und einen Sicherheitsschalter. Darüber hinaus verfügt es über eine fortschrittliche Warnmaschine, die zur Erkennung von Unregelmäßigkeiten oder Beschädigungen während der Substratbearbeitung und zur Warnung des Bedieners ausgelegt ist. TEL/TOKYO ELECTRON Telius 305 SCCM ist ein effizienter und zuverlässiger Ätzascher, der Premium-Leistung für die Herstellung integrierter Schaltungen bietet. Es ist kostengünstig für alle Fertigungsprozesse, und seine ausgeklügelte Technologie sorgt für Präzisionsätzen der meisten Substrate.